买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜北京理工大学申请的专利一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111442740B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010428628.7，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法是由赵维谦;杨帅;邱丽荣设计研发完成，并于2020-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法，旨在解决现有大口径干涉仪难以精确移相、甚至无法移相的难题。本装置通过单个压电陶瓷以小推力驱动低摩擦重载工作台沿直线导轨运动，进而带动固定在工作台上的大口径光学元件完成移相；通过三个位移传感器实时、高动态地监测工作台的俯仰和偏摆，进而推算出光学元件的平移和倾斜移相误差，并将其带入消倾斜移相算法，最终从移相干涉图中精确提取出待测面形结果。本装置及方法不仅机械结构简单、成本低，而且测量精度不受1元件口径和重量，2工作台俯仰和偏摆等运动误差，3波长调谐所导致的色差和4干涉腔长度等因素的影响。本装置及方法为大口径移相干涉测量提供了一条高精度、低成本的简便可行途径。

本发明授权一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种大口径工作台移相干涉面形测量方法，其特征在于：所述测量方法依托于一种大口径工作台移相干涉面形测量装置实现，所述装置包括小口径干涉仪主机、扩束系统、大口径准直镜、透射平晶、被测平晶、大口径调整架、低摩擦重载工作台、传感器监测平板、直线导轨、压电陶瓷、传感器工作台、传感器固定架、位移传感器A、位移传感器B和位移传感器C；小口径干涉仪主机出射的准直光束被扩束系统扩束成大口径测量光，透射平晶固定在扩束系统上，被测平晶通过大口径调整架固定在低摩擦重载工作台上；大口径测量光经过透射平晶后被被测平晶沿原路反射，再次经过透射平晶后进入扩束系统及小口径干涉仪主机；低摩擦重载工作台及传感器工作台均可沿直线导轨运动，传感器工作台可与直线导轨锁紧固定；压电陶瓷固定在传感器工作台上，其与低摩擦重载工作台之间通过球头接触并被预紧；移相测量过程中，传感器工作台与直线导轨锁紧固定，低摩擦重载工作台被压电陶瓷驱动沿直线导轨无爬行地运动，进而带动被测平晶完成移相；传感器监测平板固定在低摩擦重载工作台上，传感器支架固定在传感器工作台上，其上配置有三个位移传感器以实时、高动态地监测移相过程中传感器监测平板上三个局部位置的位移，进而推算出被测平晶的平移和倾斜移相误差，并以此精确求解待测面形；所述位移传感器包括接触式位移传感器和非接触式位移传感器；所述低摩擦重载工作台包括液压工作台、气浮工作台、精密滚珠工作台和磁悬浮工作台；所述一种大口径工作台移相干涉面形测量方法的测量步骤如下：步骤一、打开小口径干涉仪主机，依次装卡透射平晶和被测平晶，调整各平晶的姿态直至主控计算机中观察到干涉条纹；步骤二、主控计算机输出非线性递增的模拟电压信号，以控制压电陶瓷等间距地伸长，进而驱动低摩擦重载工作台及被测平晶实现定步长移相；步骤三、主控计算机采集移相干涉图，同时高速采集三个位移传感器的测量数据；步骤四、从三个位移传感器的测量数据中推算出平移和倾斜移相误差的大小和方向，将其带入消倾斜移相干涉算法并最终计算面形测量结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京理工大学，其通讯地址为：100081 北京市海淀区中关村南大街5号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。