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龙图腾网恭喜中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113969422B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010710019.0，技术领域涉及：C30B9/10；该发明授权助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统及方法是由司志伟;刘宗亮;徐科设计研发完成，并于2020-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统及方法。所述系统包括：反应生长单元、原料补给单元、废料回收单元、生长停滞监测单元和控制单元，所述反应生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室，所述原料补给单元和废料回收单元分别与所述反应腔室连接，所述废料回收单元至少用于将反应腔室中的废料导出，所述生长停滞监测单元至少用于对所述氮化物单晶的生长状态进行监测，以及，所述控制单元还与所述原料补给单元、废料回收单元、生长停滞监测单元连接。本发明提供的系统具有自动化均匀性补充原料的原料补给单元，通过在生长过程中，不断补充生长原料，实现氮化镓单晶的自动连续均匀生长。

本发明授权助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统，其特征在于包括反应生长单元、原料补给单元、废料回收单元、生长停滞监测单元和控制单元，所述控制单元分别与反应生长单元、原料补给单元、废料回收单元、生长停滞监测单元连接；所述反应生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室，所述原料补给单元和废料回收单元分别与所述反应腔室连通，所述原料补给单元至少用于向所述反应腔室提供生长氮化物单晶所需的原料，所述废料回收单元至少用于将反应腔室中的废料导出；所述原料补给单元包括至少一个原料补给腔室和至少一个供气装置，所述原料补给腔室至少用以容置生长氮化物单晶所需的至少一种原料，所述原料补给腔室通过送料管路与所述反应腔室连通；所述供气装置经第一导气管路与所述原料补给腔室连通，并至少用于向所述原料补给腔室提供惰性气体，而在所述原料补给腔室与反应腔室之间形成第一气压差，所述第一气压差能够驱使所述原料补给腔室中的原料流入所述反应腔室；所述废料回收单元包括至少一个废料回收腔室和至少一个抽气装置，所述废料回收腔室至少用以容置生长反应腔室中废料，所述废料回收腔室通过排料管路与所述反应腔室连通；所述抽气装置经第二导气管路与所述废料回收腔室连通，并至少用于将所述废料回收腔室中的气体抽出，而在所述废料回收腔室与反应腔室之间形成第二气压差，所述第二气压差能够驱使所述反应腔室中废料流入所述废料回收腔室，通过所述原料补给单元和所述废料回收单元来实现反应腔室内用于生长氮化物单晶的原料的连续补充并确保用于生长氮化物单晶的多种原料之间配比的一致性；所述生长停滞监测单元至少用于对所述氮化物单晶的生长状态进行监测，所述生长停滞监测单元包括X射线生长监测装置，所述X射线生长监测装置用于采集反应腔室内氮化物特征峰的强度信号，根据氮化物特征峰的强度信号获取反应腔室内原料液面与氮化物单晶外延生长面之间的高度差值，并将所述高度差值与设定的阈值对比，从而判断氮化物单晶的生长是否停滞，若是，则以废料回收单元将反应腔室内的废料导出和或以原料补给单元向所述反应腔室输入生长氮化物单晶所需的原料，从而使氮化物单晶继续生长，若否，则不启动所述废料回收单元和或所述原料补给单元；以及所述控制单元至少用于依据所述生长停滞监测单元的监测信号而调控所述原料补给单元、废料回收单元的工作状态。

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