恭喜东京毅力科创株式会社田岛直树获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和空气供给方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112485981B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010919558.5，技术领域涉及：G03F7/26；该发明授权基板处理装置和空气供给方法是由田岛直树设计研发完成，并于2020-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和空气供给方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置和空气供给方法。在具有多个处理单元的基板处理装置中减少向各处理单元供给的清洁的空气的温度、湿度的单元间差异。一种基板处理装置，其具有多个处理基板的处理单元，其中，该基板处理装置具有向所述处理单元供给空气的多个管道，在各所述管道具有连结该管道和空气的供给源的连接管，所述多个管道连接有数量互不相同的所述处理单元，所述管道内的空气的流速和经由所述连接管向所述管道供给的空气的流速中的至少任一者在所述管道之间相等。
本发明授权基板处理装置和空气供给方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其具有多个处理基板的处理单元，其中，该基板处理装置具有向所述处理单元供给空气的多个管道，在各所述管道具有连结该管道和空气的供给源的连接管，所述多个管道连接有数量互不相同的所述处理单元，所述管道内的空气的流速和经由所述连接管向所述管道供给的空气的流速中的至少任一者在所述管道之间相等，并且，所述基板处理装置满足下述A和B的条件中的至少任一者，A所述管道分别具有与空气向连接于该管道的所述处理单元的总流量相应的截面积，以使所述管道内的空气的流速在所述管道之间相等；B所述连接管分别具有与空气向同该连接管所连结的所述管道连接的所述处理单元的总流量相应的截面积，以使经由所述连接管向所述管道供给的空气的流速在所述管道之间相等。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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