恭喜重庆康佳光电科技有限公司范春林获国家专利权
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龙图腾网恭喜重庆康佳光电科技有限公司申请的专利巨量转移装置及巨量转移方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115410943B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110594371.7,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权巨量转移装置及巨量转移方法是由范春林;萧俊龙;蔡明达;王斌;汪庆设计研发完成,并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本巨量转移装置及巨量转移方法在说明书摘要公布了:一种巨量转移装置及巨量转移方法,巨量转移装置包括:承载平台、第一调节组件和第二调节组件,承载平台用于放置正对设置的生长基板和暂态基板,且生长基板和暂态基板均与承载平台垂直。第一调节组件位于生长基板背向暂态基板的一侧,并推动生长基板朝向暂态基板移动,第二调节组件位于暂态基板背向生长基板的一侧,并推动暂态基板朝向生长基板移动。通过在巨量转移装置中设置第一调节组件和第二调节组件推动生长基板和暂态基板相对移动,由于第一调节组件和第二调节组件在移动过程中能够保持移动路径的稳定,以使生长基板和暂态基板始终保持正对状态,达到了键合时能够精准对位的目的,且操作简单快捷,有利于提升产品良率和巨量转移效率。
本发明授权巨量转移装置及巨量转移方法在权利要求书中公布了:1.一种巨量转移装置,其特征在于,包括:承载平台,所述承载平台用于放置生长基板和暂态基板;其中,置于所述承载平台上的所述生长基板设有芯片的第一表面和所述暂态基板设有键合胶层的第二表面正对,且所述生长基板和所述暂态基板均与所述承载平台垂直;以及第一调节组件和第二调节组件,所述第一调节组件和所述第二调节组件均设置在所述承载平台上,所述第一调节组件位于所述生长基板背向所述暂态基板的一侧,所述第二调节组件位于所述暂态基板背向所述生长基板的一侧;其中,所述第一调节组件包括第一支架和第一推杆,所述第一支架固定在所述承载平台上且其上设置有通孔,所述第一推杆包括第一滑动部和第一连接部,所述第一滑动部穿过所述通孔并通过设置于端部的所述第一连接部与所述生长基板连接,并推动所述生长基板朝向所述暂态基板移动,以使所述芯片和所述键合胶层连接;和或,所述第二调节组件包括第二支架和第二推杆,所述第二支架固定于所述承载平台上且其上设置有另一通孔,所述第二推杆包括第二滑动部和第二连接部,所述第二滑动部穿过所述通孔并通过设置于端部的所述第二连接部与所述暂态基板连接,并推动所述暂态基板朝向所述生长基板移动,以使所述芯片和所述键合胶层连接。
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