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龙图腾网恭喜美新半导体(天津)有限公司申请的专利微机电系统惯性器件的惯性测试装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113800467B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111177140.2，技术领域涉及：B81C99/00；该发明授权微机电系统惯性器件的惯性测试装置是由柯亮;林武;李妍君;金羊华设计研发完成，并于2021-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本微机电系统惯性器件的惯性测试装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种微机电系统器件的惯性测试装置，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，离心机转轴受控转动；离心机样品台固定于离心机转轴的一端；三轴定位基座，其固定于离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，测试板可拆卸的固定于三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与离心机通信连接，以控制离心机转轴转动；上位机与测试板通信连接，当离心机转轴受控转动时，参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至上位机。与现有技术相比，本发明可以对微机电系统惯性器件进行高精度、高效率的的测试。

本发明授权微机电系统惯性器件的惯性测试装置在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，所述离心机转轴受控转动；所述离心机样品台固定于所述离心机转轴的一端，由所述离心机转轴带动同步转动；三轴定位基座，其固定于所述离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，所述测试板可拆卸的固定于所述三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与所述离心机通信连接，以控制所述离心机转轴转动；所述上位机还与所述测试板通信连接，当所述离心机转轴受控转动时，放置于所述测试板上的所述参考惯性器件和所述若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至所述上位机；其中，所述参考惯性器件预知特性曲线；所述上位机基于其接收到的所述参考惯性器件输出的实际测量的加速度数据来判断当前采集到的待测微机电系统惯性器件的加速度数据的稳定性，以实现对所述待测微机电系统惯性器件加速度数据的可靠筛选。

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