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龙图腾网恭喜江苏南大光电材料股份有限公司申请的专利提升原料气体量效率的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114171434B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111420506.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权提升原料气体量效率的方法是由徐耀中;杨敏;陈化冰;沈斌设计研发完成，并于2021-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本提升原料气体量效率的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及提升原料气体量效率的方法，将与储存容器中源接触的载气先进行预加热，使储存容器内热平衡及源的蒸气压稳定；可采用内加热方式或外加热方式对载气先进行预加热，内加热方式，是在储存容器内设置载气预热管，载气预热管的进口与载气进气管连通，出口与储存源的腔室连通，储存容器置于热源中；外加热方式，是在储存容器外设置载气预热管，载气预热管的进口与载气管路连通，出口与插底管连通，插底管插入储存容器内，载气预热管设有加热单元。通过对载气进行有效的预加热，减少常温气体通过原料时对原料造成的温度降低，避免气体载料量不稳定的问题。

本发明授权提升原料气体量效率的方法在权利要求书中公布了：1.提升原料气体量效率的方法，其特征在于：将与储存容器中源接触的载气先进行预加热，使储存容器内热平衡及源的蒸气压稳定；采用内加热方式对载气先进行预加热，所述内加热方式，是在储存容器内设置载气预热管，载气预热管的进口与载气进气管连通，出口与储存源的腔室连通，储存容器置于热源中；所述内加热方式，载气预热管设于储存容器内底端，储存容器内设有多层活动的载源板，将储存容器内腔由下而上分隔为多个腔室，每层载源板上设有用于将上层腔室与下层腔室相连通的接管，每层载源板上还设有用于供中心管插接的中心孔，中心管穿过每层载源板，其顶端与载气进气管连通，底端与载气预热管连通，载气预热管的出口位于载气预热管所处的腔室，出气管与最上层腔室连通；载气经载气进气管进入中心管，继而载气经载气预热管预热后进入腔室，带着源蒸汽依次由下而上穿过每层载源板的接管，最终形成饱和蒸汽从出气管输送出，载气经载气预热管得到预热，避免容器内部进气不均匀、气压不稳的状况，提高源的使用率；所述载气预热管为螺旋盘管；每层载源板设有一个中心口和两个接管，于径向位于一条直线上，两个接管以中心口为中心呈左右对称，每层载源板上接管与中心口的连线和相邻载源板上接管与中心口的连线，于轴向投影呈垂直关系；所述中心管与载气预热管焊接为一体，中心管穿过每层载源板上中心口，其顶端通过螺纹与法兰连接，中心管与载气预热管焊接点处的托板将载源板紧接触在一起。

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