恭喜长江存储科技有限责任公司雷鑫获国家专利权
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龙图腾网恭喜长江存储科技有限责任公司申请的专利晶圆平坦度的预测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114391177B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180005051.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆平坦度的预测是由雷鑫;周盈;宋豪杰;鲍琨;王璠;金国秀设计研发完成，并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆平坦度的预测在说明书摘要公布了：本公开内容的方面提供了用于确定晶圆平坦度和用于制造半导体器件的方法。所述方法包括：存储在光刻工艺期间沿着平行于第一晶圆的工作表面的第一方向收集的第一晶圆的第一晶圆膨胀。光刻工艺用于在第一晶圆的工作表面上对结构进行图案化。在具有晶圆平坦度要求的制造步骤之前，使用被配置为预测晶圆平坦度的平坦度预测模型、并基于在光刻工艺期间收集的第一晶圆膨胀来确定第一晶圆的晶圆平坦度。在示例中，在第一晶圆的背面上沉积具有基于所确定的第一晶圆的晶圆平坦度的厚度的层。
本发明授权晶圆平坦度的预测在权利要求书中公布了：1.一种用于确定晶圆平坦度的方法，包括：存储第一晶圆的第一晶圆膨胀，所述第一晶圆的所述第一晶圆膨胀是在用于在所述第一晶圆的工作表面上对结构进行图案化的光刻工艺期间、沿着平行于所述第一晶圆的所述工作表面的第一方向收集的；以及在具有晶圆平坦度要求的制造步骤之前，使用被配置为预测所述晶圆平坦度的平坦度预测模型、并基于在所述光刻工艺期间收集的所述第一晶圆膨胀来确定所述第一晶圆的晶圆平坦度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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