恭喜中国科学院上海光学精密机械研究所刘晓凤获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利真空环境中短脉冲高斯光束有效光斑面积的测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115060466B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210729383.0,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权真空环境中短脉冲高斯光束有效光斑面积的测量方法是由刘晓凤;龚赫;赵元安;帅坤;李大伟;陶春先;朱翔宇;邵建达设计研发完成,并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空环境中短脉冲高斯光束有效光斑面积的测量方法在说明书摘要公布了:一种真空环境中短脉冲高斯光束有效光斑面积的测量方法,包括脉冲激光器、快门、能量调节器、聚焦透镜、取样镜、金属靶、样品台、能量计、计算机、真空室。该方法基于金属靶的损伤轮廓与高斯光束能量分布特性之间的关联,通过测量金属靶106上损伤轮廓对应面积随辐照激光能量的变化,拟合得出短脉冲激光高斯光束在真空环境中焦点位置的有效光斑面积。该方法简单可行,可以准确测量真空环境中短脉冲激光在不同入射角下的有效光斑面积。
本发明授权真空环境中短脉冲高斯光束有效光斑面积的测量方法在权利要求书中公布了:1.一种真空环境中短脉冲高斯光束有效光斑面积的测量方法,其特征在于,包括步骤如下:S1搭建测量光路:S1.1将金属靶106放置在样品台107上,并置于真空室110;S1.2沿短脉冲激光器101的输出脉冲激光方向依次放置快门102、能量调节器103和聚焦透镜104,沿该聚焦透镜104透射光路方向,依次放置取样镜105和金属靶106,使脉冲激光经辐照所述金属靶106的表面,且该表面位于所述聚焦透镜104的焦点位置;沿所述聚焦透镜104反射光路方向放置能量计108,用于测量反射光的能量,并传输至计算机109;所述快门102、能量调节器103和能量计108分别与计算机109相连;S2脉冲激光辐照金属靶106表面的不同区域,记录能量计108的示数Ei:S2.1打开短脉冲激光器101,输出固定频率的脉冲激光,所述计算机109控制所述快门102处于常开状态,使脉冲激光经辐照所述金属靶106的表面某一区域;S2.2计算机109控制所述能量调节器103由小到大逐渐调节光路中的激光能量,同时,人眼观测所述金属靶106表面:当所述金属靶106表面开始产生可见等离子闪光,记录此时所述能量计108的示数为E0min;当所述金属靶106表面开始产生强烈等离子闪光时,记录此时能量计108的示数为E0max;S2.3计算机109控制快门102关闭,且确保真空室110处于真空状态;S2.4计算机109控制所述能量调节器103调节光路中的激光能量,使得所述能量计108的示数至E0min;S2.5移动所述样品台107,使脉冲激光经辐照所述金属靶106的表面其他区域;S2.6计算机109控制所述快门102抽取一个激光脉冲,并记录此时所述能量计108的示数为E0i,其中i=1,2,3,…;S2.7计算机109控制所述能量调节器103,抬升光路中的激光能量;S2.8重复S2.5~S2.7,直至抬升到所述能量计108的示数E0i达到E0max为止;S3计算短脉冲高斯光束有效光斑面积AT,eff:S3.1计算脉冲激光辐照金属靶106表面不同区域的能量Ei,公式如下:Ei=E0iN式中,N为分光比;S3.2利用显微镜测量各个损伤轮廓的面积Si;S3.3将能量Ei与对应损伤轮廓的面积Si拟合,公式如下,得到曲线斜率即为短脉冲高斯光束有效光斑面积AT,eff;SiEi=AT,eff*lnEi-AT,eff*lnAT,eff*Hc式中,Hc为损伤轮廓处对应的能量密度,通过对比任一损伤轮廓与其对应辐照高斯光束在金属靶面的能量分布获得。
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