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龙图腾网恭喜沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种低接触晶圆对中、翻转系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111211064B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811387884.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种低接触晶圆对中、翻转系统是由韩禹;徐春旭设计研发完成，并于2018-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低接触晶圆对中、翻转系统在说明书摘要公布了：本发明属于半导体行业晶圆清洗领域，具体地说是一种低接触晶圆对中、翻转系统，翻转执行机构安装在支撑架上、输出端连接有转盘，夹持执行机构设置在转盘上，活动夹持装置的一端与夹持执行机构的输出端连接，固定夹持装置的一端安装在转盘上，活动夹持装置及固定夹持装置的另一端均为夹持端，晶圆的一侧设有对其进行对中的低接触对中机构；活动夹持装置通过夹持执行机构的驱动相对于转盘移动，与固定夹持装置夹持晶圆，夹持执行机构、活动夹持装置、固定夹持装置及被夹持的晶圆随转盘由翻转执行机构驱动旋转。本发明能够对晶圆进行对中、夹持、翻转，可以实现控制晶圆接触面积、校准晶圆中心，保证晶圆清洁、准确、安全地完成翻转。

本发明授权一种低接触晶圆对中、翻转系统在权利要求书中公布了：1.一种低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：包括低接触对中机构1、活动夹持装置2、固定夹持装置3、晶圆翻转机构7及支撑架9，其中晶圆翻转机构7包括翻转执行机构701及夹持执行机构702，该翻转执行机构701安装在支撑架9上、输出端连接有转盘901，所述夹持执行机构702设置在转盘901上，所述活动夹持装置2的一端与夹持执行机构702的输出端连接，所述固定夹持装置3的一端安装在转盘901上，该活动夹持装置2及固定夹持装置3的另一端均为夹持端，晶圆6的一侧设有对其进行对中的低接触对中机构1；所述活动夹持装置2通过夹持执行机构702的驱动相对于转盘901移动，与固定夹持装置3夹持晶圆6，所述夹持执行机构702、活动夹持装置2、固定夹持装置3及被夹持的晶圆6随转盘901由翻转执行机构701驱动旋转；所述低接触对中机构1包括对中升降结构101、对中运动执行机构102、对中支撑PIN103、对中终端接触器104、承载台105及夹臂106，该承载台105安装在对中升降结构101上，所述承载台105上设有对中运动执行机构102，该对中运动执行机构102的两个输出端分别连接有夹臂106，每端夹臂106的夹持端均安装有与晶圆6接触的对中终端接触器104；所述承载台105上设有支撑晶圆6的对中支撑PIN103。

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