恭喜中国电子科技集团公司第十三研究所李亮获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利谐振器和滤波器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111431497B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201811592862.2,技术领域涉及:H03H3/02;该发明授权谐振器和滤波器是由李亮;吕鑫;梁东升;刘青林;马杰;高渊设计研发完成,并于2018-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本谐振器和滤波器在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,公开了一种谐振器和滤波器。该谐振器包括衬底;多层结构,形成于所述衬底上,所述多层结构由下至上依次包括下电极层、压电层和上电极层;其中,在所述衬底和所述多层结构之间形成有腔体,所述腔体包括位于所述衬底上表面之下的下半腔体和超出所述衬底上表面并向所述多层结构突出的上半腔体。上述谐振器通过设置具有下半腔体和上半腔体的腔体,且下半腔体整体位于衬底上表面之下,上半腔体整体位于衬底上表面之上,从而形成一种新型的谐振器结构,且具有较好的性能。
本发明授权谐振器和滤波器在权利要求书中公布了:1.一种谐振器,其特征在于,包括:衬底;其中,所述衬底由多个晶体组成;多层结构,形成于所述衬底上,所述多层结构由下至上依次包括下电极层、压电层和上电极层;其中,在所述衬底和所述多层结构之间形成有腔体,所述腔体包括位于所述衬底上表面之下的下半腔体和超出所述衬底上表面并向所述多层结构突出的上半腔体;所述腔体的厚度为1μm;所述下半腔体由底壁和第一侧壁围成,所述底壁整体与所述衬底表面平行,所述第一侧壁为由所述底壁边缘延伸至所述衬底上表面的第一圆滑曲面;所述第一圆滑曲面包括圆滑过渡连接的第一曲面和第二曲面;其中,过渡区的长度在3μm至5μm之间。
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