恭喜ASMIP私人控股有限公司吉川润获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASMIP私人控股有限公司申请的专利使用同轴波导的等离子体装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112216589B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010655398.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权使用同轴波导的等离子体装置以及基板处理方法是由吉川润;野泽俊久设计研发完成，并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用同轴波导的等离子体装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：一种等离子体装置的示例包括：同轴波导，其具有内导体和包围该内导体的外导体，其中在外导体和内导体之间设置有第一间隙，所述同轴波导具有在多个分支部处分支的形状；多个杆，其具有导体和包围该导体的电介质，其中在电介质和导体之间设置有第二间隙，所述多个杆连接在分支部处分支的同轴波导的两个端部，以连接第一间隙和第二间隙；以及导电桩，其设置在同轴波导的通过在分支部处分支而获得的分支部分处，所述导电桩可插入第一间隙并且可从第一间隙移除。
本发明授权使用同轴波导的等离子体装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体装置，包括：同轴波导，其具有内导体和包围该内导体的外导体，其中在外导体和内导体之间设置有第一间隙，所述同轴波导具有在多个分支部处分支的形状；多个杆，其具有导体和包围该导体的电介质，其中在电介质和导体之间设置有第二间隙，所述多个杆连接在分支部处分支的同轴波导的两个端部，以连接第一间隙和第二间隙；以及导电桩，其设置在同轴波导的通过在分支部处分支而获得的分支部分，所述导电桩可插入第一间隙并且可从第一间隙移除，其中，所述同轴波导具有微波引入部和多个端部，该多个端部通过在多个分支部处分支而获得；其中，所述导电桩设置在第一分支部，该第一分支部是多个分支部中最靠近微波引入部的分支部；且其中，所述导电桩形成为从外导体的内壁在内导体的方向上突出，由此允许多个杆的电场强度不均匀。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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