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龙图腾网恭喜无锡中微掩模电子有限公司申请的专利一种掩模工艺机台卡盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109461694B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811477911.8，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种掩模工艺机台卡盘是由张月圆;薛文卿设计研发完成，并于2018-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩模工艺机台卡盘在说明书摘要公布了：本发明公开了一种掩模工艺机台卡盘，包括底架，底架呈圆环状设置，底架上端面固定安装有两组托盘，两组托盘关于底架的环心做中心对称分布，两组托盘规格一致，底架两侧设有夹盘，两个夹盘一端均呈V字型设置，两个夹盘规格一致，且关于底架环心做中心对称分布，两个夹盘以及两组托盘四者之间呈十字型分布，底架的内环壁固定安装有十字固定件，十字固定件两相对端部的上下端面均开设有三个按钮槽，三个按钮槽之间等距离分布，若干按钮槽中的四个内均设有按钮，本发明掩模工艺机台卡盘，本发明是克服现有卡盘中存在的不足，克服高速旋转中卡盘容易甩片麻烦，确保不会因为飞出掉落报废掩模板，适应范围广，安全可靠。

本发明授权一种掩模工艺机台卡盘在权利要求书中公布了：1.一种掩模工艺机台卡盘，包括底架1，其特征在于，所述底架1呈圆环状设置，所述底架1上端面固定安装有两组托盘2，两组所述托盘2关于底架1的环心做中心对称分布，两组所述托盘2规格一致，所述底架1两侧设有夹盘3，两个所述夹盘3一端均呈V字型设置，两个所述夹盘3规格一致，且关于底架1环心做中心对称分布，两个所述夹盘3以及两组托盘2四者之间呈十字型分布，所述底架1的内环壁固定安装有十字固定件4，所述十字固定件4两相对端部的上下端面均开设有三个按钮槽5，三个所述按钮槽5之间等距离分布，若干所述按钮槽5中的四个内均设有按钮6，两个所述夹盘3内部均开设有空心槽7，两个所述空心槽7的中部均固定安装有一个固定块8；所述十字固定件4中部开设有活动槽13，所述十字固定件4中部固定安装有隔块11，所述隔块11的高度等于活动槽13的槽宽；所述隔块11两侧边与两个夹盘3之间均通过两个第二弹簧12固定连接。

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