恭喜朗姆研究公司田思源获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于具有嵌入式温度传感器的衬底支撑件的连接器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111919289B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980022733.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权用于具有嵌入式温度传感器的衬底支撑件的连接器是由田思源;唐纳德·J·米列尔设计研发完成，并于2019-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于具有嵌入式温度传感器的衬底支撑件的连接器在说明书摘要公布了：一种用于等离子体系统的衬底支撑件包含第一层，其由陶瓷制造，并且具有第一表面以及与所述第一表面相反的第二表面。所述第一层被设置成在处理期间将衬底支撑于所述第一表面上。热加热元件被嵌入所述陶瓷内。温度传感器被嵌入所述陶瓷内。导电垫片经由嵌入所述陶瓷内的第一导线与所述温度传感器电连接，并且形成在所述第一层的所述第二表面上。第二层包含通孔，所述通孔穿过所述第二层。连接器延伸穿过所述通孔，并且包含保持器以及电导体，电导体被所述保持器所保持，并且包含：第一端，其分别与所述导电垫片电连接；以及第二端，其经由导线与温度控制器电连接。
本发明授权用于具有嵌入式温度传感器的衬底支撑件的连接器在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体系统的衬底支撑件，所述衬底支撑件包含：第一层，其由陶瓷制造，并且具有第一表面以及与所述第一表面相反的第二表面，所述第一层被设置成在处理期间将衬底支撑于所述第一表面上；热加热元件，其被嵌入所述陶瓷内；温度传感器，其被嵌入所述陶瓷内；导电垫片，其：经由嵌入所述陶瓷内的第一导线与所述温度传感器电连接，并且形成在所述第一层的所述第二表面上；以及第二层，其包含通孔，所述通孔穿过所述第二层；连接器，其延伸穿过所述通孔，并且包含：保持器，其包括不止一个盘；以及电导体，其延伸穿过所述不止一个盘，被所述保持器的所述不止一个盘所保持，并且包含：第一端，其分别与所述导电垫片电连接；以及第二端，其经由导线与温度控制器电连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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