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龙图腾网恭喜中机科创(北京)科技有限公司申请的专利基于生产型金属有机源化学气相沉积设备的超声波辅助浸出装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119571282B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411751964.X，技术领域涉及：C23C16/18；该发明授权基于生产型金属有机源化学气相沉积设备的超声波辅助浸出装置及其方法是由刘文宝;杨矛茹;马丽君;郑立华设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于生产型金属有机源化学气相沉积设备的超声波辅助浸出装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明涉及超声波浸出技术领域，具体地说，涉及基于生产型金属有机源化学气相沉积设备的超声波辅助浸出装置及其方法，包括若干化学气相沉积设备的衬底、用于放置衬底的浸出桶以及用于发出超声波的超声波发生器，浸出桶内设有用于固定衬底的固定组件，浸出桶外设有用于控制固定组件运动的驱动组件，浸出桶左侧靠顶部设有进气组件。该装置通过设置固定组件，可以一次对多个衬底同时进行浸出清理，并在驱动组件作用下进行往复转动，保证衬底上下表面均可被清理到，提升清理效果；此外，通过设置进气组件，既可在浸出时通入空气而产生气泡，通过超声波使气泡破裂冲击加速残留物浸出，还可在浸出清理结束后，使衬底自动弹出，方便取出。

本发明授权基于生产型金属有机源化学气相沉积设备的超声波辅助浸出装置及其方法在权利要求书中公布了：1.基于生产型金属有机源化学气相沉积设备的超声波辅助浸出装置，包括若干化学气相沉积设备的衬底6、用于放置衬底6的浸出桶1以及用于发出超声波的超声波发生器5，其特征在于：所述浸出桶1包括桶体11以及桶体11左右两侧对称设有外伸部12，所述浸出桶1内设有用于固定所述衬底6的固定组件2，所述浸出桶1外设有用于控制固定组件2运动的驱动组件4，所述浸出桶1左侧靠顶部设有用于辅助浸出的进气组件3；所述固定组件2包括上固定结构21、下固定结构22以及若干挡板结构25，所述上固定结构21包括上固定板211以及若干规则设置在上固定板211上的上放置孔212，所述下固定结构22包括下固定板221以及与若干所述上放置孔212一一对应的若干下放置孔222，所述上放置孔212孔壁内对称设有两个滑腔214，所述挡板结构25设置在对应所述滑腔214内，所述挡板结构25包括挡板251以及固定在对应挡板251外侧的限位板252，所述滑腔214外侧壁中部固定有滑杆216，所述滑杆216外壁位于所述限位板252和对应所述滑腔214外侧壁之间部分套设有第一弹簧217，所述上固定板211与所述下固定板221之间通过设置若干规则分布的回弹结构24进行连接，所述上固定板211左右两侧通过设置固定杆213固定连接有传动结构23；所述驱动组件4包括带动所述固定组件2转动的转动结构41以及带动所述固定组件2上下移动的竖向运动结构42，所述转动结构41包括第一电机411以及与第一电机411输出轴固定的电磁铁412，所述竖向运动结构42包括第二电机421以及左右两侧对称设置的升降机构422。

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