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龙图腾网恭喜合肥意克赛激光科技有限公司申请的专利一种用于准分子激光器气体的过滤循环装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119488989B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510046807.7，技术领域涉及：B03C3/155；该发明授权一种用于准分子激光器气体的过滤循环装置是由江侣凡;李谚设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于准分子激光器气体的过滤循环装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于准分子激光器气体的过滤循环装置，属于准分子激光器的技术领域，包括：矩形腔体；过滤器，其包括中空圆柱状的外壳体，所述外壳体上端分别安装有进气管路和输气管路，所述外壳体内部安装有净化箱体；涡轮泵，转动设置在矩形腔体外；横流风扇，转动设置在矩形腔体内；双轴输出电机，其输出端分别和涡轮泵、横流风扇相连。本发明增大回流放电腔的工作气体流量，同时工作气体流动速度增加，也增强了过滤器对放电粉尘颗粒的过滤效率，同时过滤网一直转动并且可以自清洁，过滤网的有效过滤面积可以随着工作气体速度实现变化，保证过滤效率的同时也保证过滤效果。

本发明授权一种用于准分子激光器气体的过滤循环装置在权利要求书中公布了：1.一种用于准分子激光器气体的过滤循环装置，其特征在于，包括：矩形腔体（1），所述矩形腔体（1）两侧安装有腔盖（101），每个腔盖（101）上皆安装有腔镜（4），所述矩形腔体（1）内设有两个出气槽口，且出气槽口上安装有气盖板（102）；过滤器（2），其包括中空圆柱状的外壳体（201），所述外壳体（201）上端分别安装有进气管路（202）和出气管路（203），所述外壳体（201）内部安装有净化箱体（204）；其中，所述净化箱体（204）内部设置有两块竖直的立板（206）、若干转动安装的导向辊（207）以及过滤网（205），所述过滤网（205）绕过导向辊（207）且形成环状，两块所述立板（206）和净化箱体（204）内壁之间为气体流动通道（208），所述进气管路（202）延伸至气体流动通道（208）内部，且位于过滤网（205）上方，其中一块所述立板（206）一侧设有置物架（209），所述置物架（209）下端安装有双轴步进电机（210），所述双轴步进电机（210）下端输出端通过减速器连接有输出轴（211），所述输出轴（211）上安装有蜗轮蜗杆（212），且蜗杆的两端轴心相连有驱动辊（213），所述驱动辊（213）和过滤网（205）传动连接，所述净化箱体（204）内部设置有滤网调节机构，所述滤网调节机构包括设置在置物架（209）上端的顶起气压杆（214）、设置在置物架（209）内部的圆台（215）和气压箱（216），以及安装在进气管路（202）侧壁上的下推气压杆（217），所述顶起气压杆（214）上端安装有顶杆（222），所述顶杆（222）和过滤网（205）滑动接触，位于两块所述立板（206）之间的其中一个导向辊（207）不转动且上下滑动在净化箱体（204）内部，所述下推气压杆（217）位于该导向辊（207）上端且和该导向辊（207）连接，所述圆台（215）转动安装在置物架（209）内部，且所述双轴步进电机（210）上端输出端和圆台（215）轴心相连；涡轮泵（3），转动设置在矩形腔体（1）外；横流风扇（5），转动设置在矩形腔体（1）内；双轴输出电机（6），其输出端分别和涡轮泵（3）、横流风扇（5）相连。

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