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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利接合装置、接合系统以及接合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113795906B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080032907.X，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权接合装置、接合系统以及接合方法是由山崎穰;寺田尚司设计研发完成，并于2020-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本接合装置、接合系统以及接合方法在说明书摘要公布了：将第一基板与第二基板进行接合的接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部相向地配置；两个摄像单元，两个所述摄像单元具备第一摄像部和第二摄像部，所述第一摄像部拍摄在所述第一基板的接合面形成的第一对准标记，所述第二摄像部拍摄在所述第二基板的接合面形成的第二对准标记；第一移动机构，其使两个所述摄像单元在所述第一保持部与所述第二保持部之间的平面区域内沿第一方向移动；第二移动机构，其使两个所述摄像单元中的第一摄像单元沿与所述第一方向正交的第二方向移动；以及第三移动机构，其使两个所述摄像单元中的第二摄像单元沿所述第二方向移动。

本发明授权接合装置、接合系统以及接合方法在权利要求书中公布了：1.一种接合装置，将第一基板与第二基板进行接合，所述接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板，所述第二保持部与所述第一保持部相向地配置；两个摄像单元，两个所述摄像单元各自具备第一摄像部、第二摄像部和调整机构，所述第一摄像部拍摄在所述第一基板的接合面形成的第一对准标记，所述第二摄像部拍摄在所述第二基板的接合面形成的第二对准标记；第一移动机构，其使两个所述摄像单元在所述第一保持部与所述第二保持部之间的平面区域内沿第一方向移动；第二移动机构，其使两个所述摄像单元中的第一摄像单元沿与所述第一方向正交的第二方向移动；第三移动机构，其使两个所述摄像单元中的第二摄像单元沿所述第二方向移动；控制部，其控制所述第一移动机构、所述第二移动机构以及所述第三移动机构，以使所述第一摄像单元拍摄第一区域，使所述第二摄像单元拍摄第二区域；第一基准标记，其在俯视观察时设置于与所述第一保持部及所述第二保持部在所述第一方向上分离的位置，所述第一摄像部拍摄所述第一基准标记的图像；以及第二基准标记，其与所述第一基准标记相向地设置，所述第二摄像部拍摄所述第二基准标记的图像，所述控制部对所述第一摄像部所拍摄的第一基准标记的图像和所述第二摄像部所拍摄的第二基准标记的图像进行检测，控制所述第一摄像单元的调整机构来调整所述第一摄像单元的姿势以使得所检测出的第一基准标记和第二基准标记相一致，并且控制所述第二摄像单元的调整机构来调整所述第二摄像单元的姿势以使得所检测出的第一基准标记和第二基准标记相一致。

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