恭喜ASML荷兰有限公司顾宁获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利使用预测模型的过程监控和调节获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114556219B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080068272.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权使用预测模型的过程监控和调节是由顾宁;任利平;黄奎钧;伍剑设计研发完成，并于2020-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用预测模型的过程监控和调节在说明书摘要公布了：描述一种用于监测制造过程的性能的方法。所述方法包括：接收传递与由所述制造过程所产生的衬底的几何形状有关的信息的一个或更多个输入信号；和利用预测模型、基于所述一个或更多个输入信号，确定所述制造过程中的变化。也描述一种用于预测与制造过程相关联的衬底几何形状的方法。所述方法包括：接收输入信息，所述输入信息包括衬底的几何形状信息和制造过程信息；和使用机器学习预测模型、基于所述输入信息，预测输出衬底几何形状。所述方法还包括调节所预测的输出衬底几何形状。所述调节包括：将所述输出衬底几何形状与相对应的实体衬底测量结果和或来自不同的非机器学习预测模型的预测结果进行比较；基于所述比较来产生损失函数；以及优化所述损失函数。
本发明授权使用预测模型的过程监控和调节在权利要求书中公布了：1.一种预测与半导体制造过程相关联的衬底几何形状的方法，所述方法包括：接收输入信息，所述输入信息包括衬底的几何形状信息和制造过程信息；和使用机器学习预测模型、基于所述输入信息，预测输出衬底几何形状，其中，所述衬底包括叠层，所述叠层包括多个层，以及其中，所述输出衬底几何形状包括层的厚度，并且所述输入信息包括叠层调节的结果。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号