恭喜东京毅力科创株式会社迈克尔·胡梅尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利用于形成等离子体处理设备的射频(RF)线圈的模具和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114981915B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080094513.7,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权用于形成等离子体处理设备的射频(RF)线圈的模具和方法是由迈克尔·胡梅尔设计研发完成,并于2020-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于形成等离子体处理设备的射频(RF)线圈的模具和方法在说明书摘要公布了:本文披露了用于生产射频RF线圈的模具和方法的多个不同的实施例。所披露的模具包括圆柱形内芯和两件式压缩套筒,该圆柱形内芯具有在圆柱形内芯的外表面内形成的第一螺旋形凹槽,该两件式压缩套筒具有在两件式压缩套筒的内表面内形成的第二螺旋形凹槽。当两件式压缩套筒的部分附接到一起时,两件式压缩套筒包围圆柱形内芯并且向布置在第一螺旋形凹槽和第二螺旋形凹槽内的导体提供压缩力以生产RF线圈。在一些实施例中,可以使用三维3D打印过程来单独地生产模具的每个零件。
本发明授权用于形成等离子体处理设备的射频(RF)线圈的模具和方法在权利要求书中公布了:1.一种用于生产在等离子体处理设备内使用的射频RF线圈的模具,该模具包括:圆柱形内芯,该圆柱形内芯具有形成在该圆柱形内芯的外表面内的第一螺旋形凹槽;以及两件式压缩套筒,该两件式压缩套筒具有形成在该两件式压缩套筒的内表面内的第二螺旋形凹槽,其中,当该两件式压缩套筒的部分附接在一起时,该两件式压缩套筒被配置成包围该圆柱形内芯并且向布置在该第一螺旋形凹槽和该第二螺旋形凹槽内的导体提供压缩力以生产该RF线圈。
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