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龙图腾网恭喜矽碁科技股份有限公司申请的专利微型化半导体制程系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112885760B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110159313.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权微型化半导体制程系统是由吴学宪;詹志远设计研发完成，并于2021-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本微型化半导体制程系统在说明书摘要公布了：本发明关于一种微型化半导体制程系统，包括：一壳体，包括一内部空间及一与该内部空间连通的开口；一升降机构，设于该内部空间且包括一供置放一基板的载台，该载台可沿一第一方向相对该开口移动于一第一位置及一第二位置之间；一处理腔室，设于该内部空间且包括一供置放该基板的承载部；及一取送机构，可沿一第二方向移动地设于该升降机构与该处理腔室之间，供于该载台与该承载部之间取送该基板；其中，该壳体的一长宽比值介于1至6。

本发明授权微型化半导体制程系统在权利要求书中公布了：1.一种微型化半导体制程系统，其特征在于，包括：一壳体，包括一内部空间及一与该内部空间连通的开口；一升降机构，设于该内部空间且包括一供置放一基板的载台，该载台可沿一第一方向相对该开口移动于一第一位置及一第二位置之间；一处理腔室，设于该内部空间且包括一供置放该基板的承载部；及一取送机构，可沿一第二方向移动地设于该升降机构与该处理腔室之间，供于该载台与该承载部之间取送该基板；其中，该壳体的一长宽比值介于1至6；当该载台位于该第一位置，该载台至少部分位于该开口中而可供自外部取放该基板；当该载台位于该第二位置时，该取送机构与该载台相对应而可自该载台取放该基板；其中，该微型化半导体制程系统另包括一可开阖地盖设于该开口的封盖及至少一连接该封盖的致动杆，各该致动杆包括一连接该封盖的第一端及一相对于该第一端且伸入该内部空间的第二端；当该载台朝该第一位置移动时，该升降机构顶推该第二端使该至少一致动杆带动该封盖相对远离该开口；其中，各该致动杆另包括一径向突出的挡止部且套设有一弹抵于该壳体与该挡止部之间的第一弹性件。

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