恭喜恩特格里斯公司R·V·拉施克获国家专利权
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龙图腾网恭喜恩特格里斯公司申请的专利具有涂层感测区的光罩盒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115552332B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180032956.8，技术领域涉及：G03F1/66；该发明授权具有涂层感测区的光罩盒是由R·V·拉施克;王华平设计研发完成，并于2021-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有涂层感测区的光罩盒在说明书摘要公布了：使用干式涂布方法在光罩容器的内盒上产生感测区。所述感测区是具有特定光谱反射率的离散区。所述感测区经定位使得其可通过工具读取以确定所述盒的部分的距离。与用材料完全镀覆的内盒或其它湿式涂布施覆的材料相比，使用离散区及干式涂布方法用于施覆所述离散区会克服清洁或维持所述光罩容器的内盒的反射比时的不一致性及困难的问题。
本发明授权具有涂层感测区的光罩盒在权利要求书中公布了：1.一种盒，其包括：底板，其具有底板表面，所述底板表面包含底板表面材料；盖，其具有盖表面，所述盖表面包含盖表面材料；以及多个感测区，所述感测区中的每一者包含反射材料，其中使用干式涂布工艺将所述反射材料施覆到所述感测区，所述多个感测区安置于所述底板表面及所述盖表面中的一者或两者上，其中所述多个感测区中的至少一个感测区位于所述盖的侧表面上，所述多个感测区中的至少一个感测区位于所述盖的底表面上，并且其中所述反射材料在880nm的波长下具有在50％与70％之间的光谱反射率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩特格里斯公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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