恭喜长鑫存储技术有限公司李宗翰获国家专利权
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龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利图形单元结构及图形阵列结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115249689B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110469578.1,技术领域涉及:H01L23/528;该发明授权图形单元结构及图形阵列结构是由李宗翰;黄信斌设计研发完成,并于2021-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本图形单元结构及图形阵列结构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种图形单元结构及图形阵列结构,图形单元结构包括:第一图形包括相互垂直的第一部分和第二部分,第一图形的第一部分的末端与第一图形的第二部分的首端相连接;第一互连结构于第一图形的正投影位于第一图形的第二部分内;第二图形包括相互垂直的第一部分和第二部分,第二图形的第一部分的末端与第二图形的第二部分的首端相连接;第二互连结构于第二图形的第二部分上的正投影位于第二图形的第二部分内;第三图形位于第一图形与第二图形之间,更小的间距在后续完成晶圆制备后进行可靠性测试时,避免出现引发互连结构脱落及互连结构脱落后顶起上层金属膜层的空洞,提高晶圆的可靠性和寿命。
本发明授权图形单元结构及图形阵列结构在权利要求书中公布了:1.一种图形单元结构,其特征在于,包括:第一图形,所述第一图形包括相互垂直的第一部分和第二部分,所述第一图形的第一部分的末端与所述第一图形的第二部分的首端相连接,所述第一图形的第二部分沿第一方向延伸;第一互连结构于所述第一图形的正投影位于所述第一图形的第二部分内;第二图形,所述第二图形包括相互垂直的第一部分和第二部分,所述第二图形的第一部分的末端与所述第二图形的第二部分的首端相连接,所述第二图形的第一部分与所述第一图形的第一部分平行设置,所述第二图形的第二部分沿第二方向延伸,所述第二方向与所述第一方向相反;第二互连结构于所述第二图形上的正投影位于所述第二图形的第二部分内;第三图形,位于所述第一图形与所述第二图形之间;所述第三图形包括相互垂直的第一部分和第二部分,所述第三图形的第一部分与所述第三图形的第二部分垂直相连,所述第三图形的第一部分与所述第一图形的第一部分及所述第二图形的第一部分均平行设置,所述第三图形的第二部分与所述第一图形的第二部分及所述第二图形的第二部分均平行设置,所述第三图形的第一部分沿第三方向延伸,所述第三方向垂直与所述第一方向和所述第二方向;所述第三图形为单个导电结构图案;所述第三图形的第一部分的中心线与所述第三图形的第二部分的中心线相重合;所述第一图形与所述第二图形以所述第三图形的中心线呈对称分布;所述第一图形的第二部分及所述第二图形的第二部分在所述第三方向上的投影与所述第三图形的第二部分分别部分重合,且所述第一图形的第二部分在第三方向上的投影未超过所述第三图形的第一部分靠近所述第一图形的第一部分的边界,所述第二图形的第二部分在第三方向上的投影不超过所述第三图形的第一部分靠近所述第二图形的第一部分的边界;所述第一图形的第二部分的末端与所述第二图形的第二部分的末端之间为第一间距,所述第一图形的第二部分和第二图形的第二部分与所述第三图形的第二部分之间为第二间距,所述第一间距与所述第二间距的比例为0.9-1.1;所述第一图形的第一部分和第二图形的第一部分与所述第三图形的第二部分之间为第三间距,所述第一间距与所述第三间距的比例为0.9-1.1。
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