恭喜东京毅力科创株式会社秋山直树获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利检查装置的控制方法以及检查装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068342B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110875091.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权检查装置的控制方法以及检查装置是由秋山直树;中山博之设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置的控制方法以及检查装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种提高了处理能力的检查装置的控制方法以及检查装置。该检查装置包括:载置台,其用于载置具有多个被检查体的基板,并且形成有多个分区；以及加热部,其能够针对各个上述分区进行升温控制,该检查装置的控制方法具有如下工序:在对多个上述被检查体中的检查对象的第一被检查体进行检查时,通过上述加热部使与上述第一被检查体对应的分区、以及与下一个检查对象的第二被检查体对应的分区升温。
本发明授权检查装置的控制方法以及检查装置在权利要求书中公布了：1.一种检查装置的控制方法，该检查装置包括：载置台，其用于载置具有多个被检查体的基板，并且形成有多个分区；以及加热部，其能够针对各个上述分区进行升温控制，该检查装置的控制方法具有如下工序：由上述加热部使载置于上述载置台上的基板整体升温至第一温度；由上述加热部开始对与多个上述被检查体中作为检查对象的第一被检查体对应的第一分区进行升温；在开始对上述第一分区进行升温之后，以使上述第一被检查体的温度成为作为目标温度的第二温度的方式控制通过上述加热部对上述第一分区进行的升温，并开始对上述第一被检查体进行检查；以及在对上述第一被检查体进行的检查结束之前，由上述加热部开始对与作为下一个检查对象的第二被检查体对应的第二分区进行升温。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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