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龙图腾网恭喜天虹科技股份有限公司申请的专利开合式遮蔽构件及薄膜沉积机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222821638U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202122361667.2，技术领域涉及：C23C16/04；该实用新型开合式遮蔽构件及薄膜沉积机台是由林俊成;沈祐德设计研发完成，并于2021-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本开合式遮蔽构件及薄膜沉积机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种开合式遮蔽构件，主要包括一第一及一第二遮蔽板、至少一驱动马达、一轴封装置及两个感测单元，其中驱动马达通过轴封装置的外管体及轴体分别连接第一及第二遮蔽板，并驱动第一及第二遮蔽板在一开启状态及一遮蔽状态之间切换。两个感测单元分别用以感测外管体转动至一第一位置及一第二位置，其中外管体转动到第一位置时第一遮蔽板操作在开启状态，而外管体转动到第二位置时第一遮蔽板则操作在遮蔽状态。通过感测单元使用可得知驱动马达是否确实通过外管体带动第一遮蔽板操作在遮蔽状态，可避免发生遮蔽板未操作在预设状态的情形。

本实用新型开合式遮蔽构件及薄膜沉积机台在权利要求书中公布了：1.一种薄膜沉积机台，其特征在于，包括：一反应腔体，包括一容置空间；一承载盘，位于该容置空间内，并用以承载至少一基板；及一开合式遮蔽构件，包括：一第一遮蔽板，位于该容置空间内；一第二遮蔽板，位于该容置空间内；一驱动装置，包括：一驱动马达；一轴封装置，包括一外管体及一轴体，该轴体位于该外管体内，并且该外管体及该轴体同轴设置；以及一连动机构，该驱动马达通过该连动机构连接并驱动该外管体及该轴体朝相反方向转动；其中，该连动机构包括一驱动齿轮、一第一从动齿轮及一第二从动齿轮，该驱动齿轮啮合第一从动齿轮及第二从动齿轮，该第一从动齿轮通过该外管体连接该第一遮蔽板，而该第二从动齿轮通过该轴体连接该第二遮蔽板，该驱动齿轮由该驱动马达驱动而转动，使该第一从动齿轮及该第二从动齿轮朝相反方向转动，从而驱动该外管体及该轴体朝相反方向转动；其中该驱动马达通过该连动机构与该外管体连接该第一遮蔽板，并通过该连动机构与该轴体连接该第二遮蔽板，该驱动马达分别通过该外管体及该轴体带动该第一遮蔽板及该第二遮蔽板朝相反的方向摆动，使得该第一遮蔽板及该第二遮蔽板在一开启状态及一遮蔽状态之间切换，其中该遮蔽状态的该第一遮蔽板靠近该第二遮蔽板，并遮挡该承载盘，而该开启状态的该第一遮蔽板及该第二遮蔽板之间则形成一间隔空间；及两个感测单元，与该轴体相邻，该两个感测单元之间具有一间距，并分别用以感测该轴体转动至一第一位置及一第二位置，其中该轴体转动至该第一位置时，该第二遮蔽板操作在该开启状态，而该轴体转动至该第二位置时，该第二遮蔽板操作在该遮蔽状态。

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