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龙图腾网恭喜常州时创能源股份有限公司申请的专利硅片扩散制结用链式推进方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113964027B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111216618.8，技术领域涉及：H01L21/225；该发明授权硅片扩散制结用链式推进方法是由曹育红;张胜军;许佳平;符黎明设计研发完成，并于2021-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片扩散制结用链式推进方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片扩散制结用链式推进方法，在链式炉中设置奇数批加热区段和偶数批加热区段；仅当奇数批硅片途径奇数批加热区段时，开启奇数批加热区段的加热装置对途径的奇数批硅片进行高温推进处理；未有奇数批硅片途径奇数批加热区段时，关闭奇数批加热区段的加热装置；仅当偶数批硅片途径偶数批加热区段时，开启偶数批加热区段的加热装置对途径的偶数批硅片进行高温推进处理；未有偶数批硅片途径偶数批加热区段时，关闭偶数批加热区段的加热装置。本发明的硅片扩散制结用链式推进方法，其能对完成BSG沉积的硅片进行高温推进处理，且能避免炉体以及内部氛围持续加热导致温度过高的问题。

本发明授权硅片扩散制结用链式推进方法在权利要求书中公布了：1.硅片扩散制结用链式推进方法，采用链式炉对完成BSG沉积的硅片进行高温推进处理，形成硼扩散结；其特征在于：在链式炉中分批依次传送硅片，每批至少一个硅片；沿硅片传送方向依次计数各批硅片，将各批硅片分为奇数批硅片和偶数批硅片；在链式炉中设置至少一个高温推进处理区；在所述高温推进处理区中设置两个加热区段，使该两个加热区段沿硅片传送方向依次设置，在该两个加热区段中分别设置加热装置；以其中一个加热区段为奇数批加热区段，以另一个加热区段为偶数批加热区段；控制所述奇数批加热区段的工作模式如下：仅当奇数批硅片途径奇数批加热区段时，开启奇数批加热区段的加热装置，该加热装置对途径的奇数批硅片进行高温推进处理；未有奇数批硅片途径奇数批加热区段时，关闭奇数批加热区段的加热装置，使奇数批加热区段的温度降低；控制所述偶数批加热区段的工作模式如下：仅当偶数批硅片途径偶数批加热区段时，开启偶数批加热区段的加热装置，该加热装置对途径的偶数批硅片进行高温推进处理；未有偶数批硅片途径偶数批加热区段时，关闭偶数批加热区段的加热装置，使偶数批加热区段的温度降低。

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