恭喜恩特格里斯公司C·凡卡拉曼获国家专利权
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龙图腾网恭喜恩特格里斯公司申请的专利通过增材制造制备的静电吸盘以及相关方法及结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695239B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111648506.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权通过增材制造制备的静电吸盘以及相关方法及结构是由C·凡卡拉曼;S·西里尼亚诺;刘研;S·古达蒂;T·K·佩鲁马尔;M·利维;J·莱辛斯基;C·瓦尔德弗里德设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本通过增材制造制备的静电吸盘以及相关方法及结构在说明书摘要公布了：本申请案涉及一种通过增材制造来制备的静电吸盘以及相关方法及结构。描述用于在加工工件的步骤期间支撑所述工件的静电吸盘以及通过增材制造技术制备的静电吸盘底座组件。
本发明授权通过增材制造制备的静电吸盘以及相关方法及结构在权利要求书中公布了：1.一种吸盘底座，其包括：上部，其由无机复合材料制成，下部，其由所述无机复合材料制成，内部，其位于所述上部与所述下部之间，由所述无机复合材料制成，及通道，其位于所述内部内，由所述无机复合材料形成，所述上部、所述下部及所述内部包含从所述上部延伸到所述下部的所述无机复合材料的连续层，其中所述上部和所述下部中的一者包含具有精细层厚度的至少一个精细层，且所述内部包含具有粗糙层厚度的至少一个粗糙层，且其中所述粗糙层厚度大于所述精细层厚度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩特格里斯公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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