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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114765121B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210002402.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统是由波多野达夫;渡边直树设计研发完成，并于2022-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统在说明书摘要公布了：本公开涉及一种基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统，能够使用平面马达来以高位置精度向处理室内的搬送位置搬送基板。用于搬送基板的基板搬送装置具有：搬送单元，其具有用于保持基板的基板保持部以及内部具有磁体来用于使基板保持部移动的基部；平面马达，其具有主体部、排列在主体部内的多个电磁线圈、以及向电磁线圈供电来使所述基部磁悬浮并且对所述基部进行直线驱动的直线驱动部；基板检测传感器，其在保持于基板保持部的基板通过时检测基板；以及搬送控制部，其基于基板检测传感器的检测数据来运算保持于基板保持部的基板的实际位置，并计算所述实际位置相对于所设定的逻辑位置的校正值，基于该校正值来修正基板的搬送位置。

本发明授权基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板搬送装置，用于搬送基板，所述基板搬送装置具有：搬送单元，其具有用于保持基板的基板保持部以及内部具有磁体来用于使所述基板保持部移动的基部；平面马达，其具有主体部、排列在所述主体部内的多个电磁线圈、以及向所述电磁线圈供电来使所述基部磁悬浮并且对所述基部进行直线驱动的直线驱动部；基板检测传感器，其在保持于所述基板保持部的所述基板通过时检测所述基板；以及搬送控制部，其基于所述基板检测传感器的检测数据来运算保持于所述基板保持部的所述基板的实际位置，并计算所述实际位置相对于所设定的逻辑位置的校正值，基于该校正值来修正所述基板的搬送位置，其中，所述搬送单元具有两个所述基部，还具有将各个所述基部与所述基板保持部连结的连杆机构，所述搬送控制部被配置为通过控制向所述电磁线圈供给的电流以使两个所述基部之间的间隔成为期望的间隔，来使所述基板保持部的延伸距离变化。

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