恭喜哈尔滨工业大学(深圳)周诗豪获国家专利权
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龙图腾网恭喜哈尔滨工业大学(深圳)申请的专利一种聚焦离子束-扫描电镜三维结构重构校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114723878B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210232768.6,技术领域涉及:G06T17/00;该发明授权一种聚焦离子束-扫描电镜三维结构重构校正方法是由周诗豪;严资林;仲政设计研发完成,并于2022-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种聚焦离子束-扫描电镜三维结构重构校正方法在说明书摘要公布了:本发明涉及三维重构技术领域,尤其涉及一种聚焦离子束‑扫描电镜三维结构重构校正方法,包括:对材料进行加工,得到具有球形颗粒附着层的材料样品;在真空条件下,采用包含环氧树脂的组分进行孔隙填充;待环氧树脂完全固化后,对待测样品进行加工,沿球形颗粒附着层的法向方向暴露材料及球形颗粒;对暴露出的材料及球形颗粒交界处进行抛光,确定感兴趣区域;采用聚焦离子束‑扫描电镜对感兴趣区域进行切割与扫描,获取二维图像序列,并进行三维重构,得到三维数字化图像;基于球形颗粒的尺寸及形状,对三维数字化图像进行校正。本发明能够校正聚焦离子束‑扫描电镜对材料微纳米级结构的三维重构结果,获得高精度的三维重构图像。
本发明授权一种聚焦离子束-扫描电镜三维结构重构校正方法在权利要求书中公布了:1.一种聚焦离子束-扫描电镜三维结构重构校正方法,其特征在于,包括:对材料进行加工,得到至少一个截面,并用一个截面粘取多个球形颗粒,得到具有球形颗粒附着层的材料样品;在真空条件下,采用包含环氧树脂的组分对所述材料样品进行孔隙填充,得到填充后的待测样品;待环氧树脂完全固化后,对所述待测样品进行加工,沿所述球形颗粒附着层的法向方向暴露材料及所述球形颗粒;对暴露出的材料及所述球形颗粒交界处进行抛光,确定感兴趣区域;采用聚焦离子束-扫描电镜对所述感兴趣区域进行切割与扫描,获取二维图像序列,并进行三维重构,得到三维数字化图像;基于所述球形颗粒的尺寸及形状,对所述三维数字化图像进行校正。
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