恭喜厦门虹鹭钨钼工业有限公司余宸旭获国家专利权
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龙图腾网恭喜厦门虹鹭钨钼工业有限公司申请的专利一种减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构及其制备方法、靶盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210713032.0，技术领域涉及：H01J35/10；该发明授权一种减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构及其制备方法、靶盘是由余宸旭;侯海涛;陈会培;薛鼎文;黄志民设计研发完成，并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构及其制备方法、靶盘在说明书摘要公布了：本发明涉及旋转阳极靶技术领域，特别涉及一种减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构及其制备方法、靶盘。该复合层结构包括基体层以及轨道层；基体层上表面覆盖有过渡层，且过渡层上表面覆盖有轨道层；过渡层的热膨胀系数介于基体层的热膨胀系数和轨道层的热膨胀系数之间；按质量百分比，过渡层包括以下组分：20％～70％W,10％～50％Mo,5％～20％T,5％～20％Z；T为Re、Ta中的一种或两种组合；Z为Nb、Hf、Ti中的一种或多种组合。本发明可有效减少轨道层龟裂和开裂等现象的发生，使得复合层结构的室温断裂韧性增大，减少带有所述复合层结构的靶盘的裂纹的产生，从而提升靶盘使用寿命，以使靶盘质量提升。
本发明授权一种减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构及其制备方法、靶盘在权利要求书中公布了：1.一种减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构，其包括基体层以及轨道层；其特征在于：所述基体层上表面覆盖有过渡层，且过渡层上表面覆盖有轨道层；所述过渡层的热膨胀系数介于基体层的热膨胀系数和轨道层的热膨胀系数之间；按质量百分比，所述过渡层包括以下组分：20％～70％W,10％～50％Mo,5％～20％T,5％～20％Z；所述T为Re、Ta中的一种或两种组合；所述Z为Nb、Hf、Ti中的一种或多种组合。
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