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龙图腾网恭喜上海智能制造功能平台有限公司申请的专利一种测量正压力和剪切力的压电传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115200752B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210798068.3，技术领域涉及：G01L1/16；该发明授权一种测量正压力和剪切力的压电传感器及其制备方法是由杨斌;吴亚东;欧阳华设计研发完成，并于2022-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量正压力和剪切力的压电传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种测量正压力和剪切力的压电传感器及其制备方法，包括：支撑部，为一个框体，所述框体内设置连接梁和连接台，所述连接梁由四个梁构成十字形分布，所述连接台位于所述十字形的中间，所述连接梁分别连接到所述连接台的侧面，所述框体的长度尺寸大于宽度；设置于所述支撑部上方的压电陶瓷薄膜传感单元，所述压电陶瓷薄膜传感单元有四个，对应分布于所述连接梁的四个梁上；设置于所述支撑部上方的纤毛，所述纤毛设置于所述连接台的中间，且位于四个所述压电陶瓷薄膜传感单元的中间。本发明基于压电机制，通过纤毛和传感单元的结构设置，可以测试XY轴的剪切应力、Y轴的剪切应力以及来自Z方向的正向压力。

本发明授权一种测量正压力和剪切力的压电传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种测量正压力和剪切力的压电传感器，其特征在于，包括：支撑部，为一个框体，所述框体内设置连接梁和连接台，所述连接梁由四个梁构成十字形分布，所述连接台位于所述十字形的中间，且，四个梁均连接到所述连接台的侧面且以所述连接台为中心两两对称；设置于所述支撑部上方的压电陶瓷薄膜传感单元，所述压电陶瓷薄膜传感单元有四个，对应分布于所述连接梁的四个梁上，形成两两对称结构；设置于所述支撑部上方的纤毛，所述纤毛设置于所述连接台的中间，且位于四个所述压电陶瓷薄膜传感单元的中间；所述压电陶瓷薄膜传感单元、所述纤毛支撑与所述支撑部的下方为中空；所述纤毛为一柱状，与所述连接台垂直固定，通过所述纤毛受力情况，来测试X轴的剪切应力、Y轴的剪切应力以及来自Z方向的正向压力；当所述压电传感器受到正向压力时，四个所述压电陶瓷薄膜传感单元均发生变形，产生输出电压，从而测试正压力；当所述压电传感器受到X方向剪切力时，对称结构中的第一对所述压电陶瓷薄膜传感单元发生变形，产生输出电压，对称结构中的第二对所述压电陶瓷薄膜传感单元不变形无输出，从而测试X方向剪切力；当所述压电传感器受到Y方向剪切力时，对称结构中的第二对所述压电陶瓷薄膜传感单元发生变形，产生输出电压，对称结构中的第一对所述压电陶瓷薄膜传感单元不变形无输出，从而测试Y方向剪切力；所述压电陶瓷薄膜传感单元，是通过以下方式制备：在压电陶瓷压片的下表面采用磁控溅射工艺沉积第一层金属薄膜，形成压电层下电极；将沉积第一层金属薄膜的压电陶瓷压片与衬底层键合，其中第一层金属薄膜与衬底层紧贴；采用化学机械抛光工艺对压电陶瓷压片的上表面进行减薄，形成压电陶瓷薄膜层；在减薄后的压电陶瓷薄膜层的上表面沉积第二层金属薄膜，形成压电层上电极。

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