恭喜国电投核力创芯(无锡)科技有限公司郭如勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜国电投核力创芯(无锡)科技有限公司申请的专利一种用于束流检测的四扇装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115128660B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210914193.6,技术领域涉及:G01T1/29;该发明授权一种用于束流检测的四扇装置及方法是由郭如勇;王泊锡;张政;朱晓桦;李笑;姜桂林;于天华;王孝宇;沈轩羽;王明康设计研发完成,并于2022-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于束流检测的四扇装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于束流检测的四扇装置及方法,装置包括:法兰件,安装于束流管道内;检测件,安装于法兰件内,用于承受束流冲击并改变束流通过姿态;检测件由若干检测铜块组成;若干检测铜块设有相互适配的契角,使若干检测铜块围成唯一出口,且互不接触,当束流穿过检测件时,束流受若干检测铜块阻挡,仅从唯一出口通过。本发明通过由若干检测铜块组成的检测件连通检测器完成对束流的检测工作,通过在若干检测铜块上设有相互适配的契角,使若干检测铜块围成唯一出口,且互不接触,当束流穿过检测件时,束流受若干检测铜块阻挡,仅从唯一出口通过,不仅满足了检测需要,且在检测过程中使束流仅从唯一出口通过,使得晶圆辐照时,更为均匀。
本发明授权一种用于束流检测的四扇装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于束流检测的四扇装置,包括:法兰件(1),安装于束流管道内;检测件(2),安装于法兰件(1)内,用于承受束流冲击并改变束流通过姿态;其特征在于,所述检测件(2)由若干检测铜块组成;所述若干检测铜块设有相互适配的契角,使若干检测铜块围成唯一出口,且互不接触,当束流穿过检测件(2)时,束流受若干检测铜块阻挡,仅从唯一出口通过。
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