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恭喜南京屹立芯创半导体科技有限公司张景南获国家专利权

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龙图腾网恭喜南京屹立芯创半导体科技有限公司申请的专利密封门及半导体设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115749542B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211344785.5,技术领域涉及:E06B5/00;该发明授权密封门及半导体设备是由张景南;巫碧勤;彭俊昇;万航设计研发完成,并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

密封门及半导体设备在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体技术领域,具体公开一种密封门及半导体设备,密封门包括门体、门框、U型体及气体通道。门框与门体配合连接,门框具有开口朝向门体的环形沟槽;U型体设置于环形沟槽内,U型体的开口朝向环形沟槽的底部,U型体与环形沟槽之间形成一压力空间;气体通道连通压力空间,经气体通道向压力空间内施加正压时,U型体朝向门体移动以与门体密封接触,进而阻断门体与门框之间的通路,保证腔体的密封性;当经气体通道向压力空间内施加负压,U型体远离门体移动以复位,门体与门框之间的间隙得以释放,实现解封,由此只需对压力空间内加压即可实现密封,对压力空间内减压,U型体即可复位,进而实现解封,操作简单且通用性高。

本发明授权密封门及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种密封门,其特征在于,包括:门体;门框,与所述门体配合连接,所述门框具有开口朝向所述门体的环形沟槽;U型体,设置于所述环形沟槽内,所述U型体的开口朝向所述环形沟槽的底部,所述U型体与所述环形沟槽之间形成一压力空间;气体通道,连通所述压力空间,经所述气体通道向所述压力空间内施加正压时,所述U型体朝向所述门体移动以与所述门体密封接触,当经所述气体通道向所述压力空间内施加负压,所述U型体远离所述门体移动以复位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京屹立芯创半导体科技有限公司,其通讯地址为:211500 江苏省南京市江北新区星火北路11号1楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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