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龙图腾网恭喜北方夜视技术股份有限公司申请的专利用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116770231B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310586122.2，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置是由王亮;王兴超;周帆;任玲;司曙光;金睦淳;张昊达;纪路路;侯巍;汤偲晨设计研发完成，并于2023-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置在说明书摘要公布了：本发明涉及光电倍增管加工技术领域，具体而言涉及用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置，包括：蒸发电极，包括正极以及负极；蒸发源结构，所述蒸发源结构的第一端连接到所述正极，所述蒸发源结构的第二端连接到所述负极；蒸发材料层，连接到所述蒸发源结构；其中，所述蒸发源结构包括蒸发面，所述蒸发材料层连接到所述蒸发面。利用面蒸发源的优势提升其镀膜的均匀性，从而提升器件的量子效率均匀性。且片状面蒸镀装置镀膜方向仅朝向玻璃光窗，其他方向被其自身蒸发源薄片挡住，不会蒸镀到陶瓷等不需要镀膜的位置，可改善整管的噪声特性。

本发明授权用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置在权利要求书中公布了：1.一种用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发电极，包括正极以及负极；蒸发源结构（11），所述蒸发源结构（11）的第一端连接到所述正极，所述蒸发源结构（11）的第二端连接到所述负极；蒸发材料层（12），连接到所述蒸发源结构（11）；其中，所述蒸发源结构（11）包括蒸发面，所述蒸发材料层（12）连接到所述蒸发面，所述蒸发面向着待镀膜结构的方向，且由蒸发面向着待镀膜结构的方向，所述蒸发材料层的厚度相同；当所述正极和负极连接到驱动电路时，蒸发源结构（11）发热，使所述蒸发材料层（12）蒸发在待镀膜结构表面形成镀层；所述蒸发源结构（11）被构造成片状，所述片状的蒸发源结构设有所述蒸发面，所述蒸发面的形状与待镀膜结构的形状相匹配，所述蒸发源结构（11）的厚度均匀；所述蒸发源结构（11）包括钽、钨或铂材料；所述蒸发材料层（12）包括锰、钛、铝、锑、碲或碘材料；所述蒸发材料层（12）以磁控溅射或电子束蒸镀的方式定量的蒸镀到所述蒸发源结构（11）的蒸发面，使镀膜完成后，蒸发源结构（11）上的蒸发材料层（12）几乎被蒸发殆尽。

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