恭喜SCIVAX株式会社谷口丰获国家专利权
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龙图腾网恭喜SCIVAX株式会社申请的专利贴合体制造方法、贴合体及微细结构形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114008746B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080040772.1,技术领域涉及:H01L21/027;该发明授权贴合体制造方法、贴合体及微细结构形成方法是由谷口丰;田中觉设计研发完成,并于2020-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本贴合体制造方法、贴合体及微细结构形成方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种贴合体制造方法、贴合体及微细结构形成方法,能够形成可靠地将模具与被成形物之间的气体去除的状态,能够进行压印法中的单片处理。所述贴合体制造方法包括:密封材4配置工序,以在使模具1和被成形物2贴合时能够包围被成形物2的被成型面的方式将密封材4配置于模具1和被成形物2中的任一方或双方;减压工序,在使模具1和被成形物2分离的状态下对模具1和被成形物2周围的气氛进行减压;密封工序,使模具1和被成形物2重叠,用密封材4将模具1与被成形物2之间密封;以及第1加压工序,在将模具1与被成形物2之间密封的状态下通过流体进行加压,密封材4构成为至少在密封工序中具有流动性,并且在将模具1和被成形物2进行脱模时密封材4仅粘接于模具1和被成形物2中的任一方。
本发明授权贴合体制造方法、贴合体及微细结构形成方法在权利要求书中公布了:1.一种贴合体制造方法,其用于制造模具和被成形物的贴合体,所述贴合体制造方法的特征在于,包括:密封材配置工序,以在使所述模具和所述被成形物贴合时能够包围所述被成形物的被成型面的方式将密封材配置于所述模具和所述被成形物中的任一方或双方;减压工序,在使所述模具和所述被成形物分离的状态下对所述模具和所述被成形物周围的气氛进行减压;密封工序,使所述模具和所述被成形物重叠,用所述密封材将所述模具与所述被成形物之间密封;以及第1加压工序,在将所述模具与所述被成形物之间密封的状态下,通过流体对该模具与被成形物进行加压使其密接,所述密封材构成为至少在所述密封工序中具有流动性,并且在将所述模具和所述被成形物进行脱模时所述密封材仅与所述模具和所述被成形物中的任一方粘接。
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