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龙图腾网恭喜拉芳德利责任有限公司申请的专利霍尔集成式传感器和对应的制造工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114096865B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080049844.9，技术领域涉及：G01R33/07；该发明授权霍尔集成式传感器和对应的制造工艺是由卡斯滕·施密特;格哈德·施皮茨尔施佩格;丹尼尔·霍恩洛泽设计研发完成，并于2020-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本霍尔集成式传感器和对应的制造工艺在说明书摘要公布了：提供一种集成式霍尔传感器，该集成式霍尔传感器具有：半导体材料的主晶圆10，该主晶圆具有衬底101，该衬底具有第一表面101a和第二表面101b，该第二表面101b沿竖向轴线y与第一表面101a相反；霍尔传感器端子1、2、3、4；1'、2'、3'、4'，该霍尔传感器端子被布置在衬底101的第一表面101a和第二表面101b中的至少一个处；在衬底101中的隔离结构109，该隔离结构限定集成式霍尔传感器的霍尔传感器板103，霍尔传感器端子被布置在隔离结构109中。此外，集成式霍尔传感器具有被集成在晶圆10中的测试或校准线圈，该测试或校准线圈具有至少部分地由被布置在衬底101的第一表面101a和第二表面101b上方的金属部分130b、170b；130a、170a形成的多个绕组并且限定完全包围霍尔传感器板103的内体积1001。

本发明授权霍尔集成式传感器和对应的制造工艺在权利要求书中公布了：1.一种集成式霍尔传感器，包括：半导体材料的主晶圆10，所述主晶圆具有衬底101，所述衬底具有第一表面101a和第二表面101b，所述第二表面101b沿竖向轴线y与所述第一表面101a相反；霍尔传感器端子1、2、3、4；1'、2'、3'、4'，所述霍尔传感器端子1、2、3、4；1'、2'、3'、4'被布置在所述衬底101的所述第一表面101a和所述第二表面101b中的至少一个处；在所述衬底101中的隔离结构，所述隔离结构限定所述集成式霍尔传感器的霍尔传感器板103，所述霍尔传感器端子被布置在所述隔离结构内部，其特征在于，所述集成式霍尔传感器还包括被集成在所述主晶圆10中的至少一个测试或校准线圈C1，所述至少一个测试或校准线圈C1具有至少部分地由被布置在所述衬底101的所述第一表面101a和所述第二表面101b上方的金属部分130b、170b；130a、170a形成的多个绕组并且限定完全包围所述霍尔传感器板103的内体积1001；以及其中，所述测试或校准线圈包括：被限定在金属层130中的至少第一金属部分130b；130a，所述金属层130形成在被布置于所述衬底101的所述第一表面101a上的第一电介质层结构104、105上；被限定在相应的金属层170中的至少第二金属部分170b；170a，所述相应的金属层170形成在被布置于所述衬底101的所述第二表面101b上的第二电介质层结构107、108上；以及至少贯穿式硅过孔140b，所述贯穿式硅过孔140b从所述衬底101的第二表面101b延伸到所述衬底101的第一表面101a；以及其中，在所述第一电介质层结构104、105上布置有第一外电介质层106，所述主晶圆10与所述外电介质层106的顶表面一起附接到第二晶圆20，所述第二晶圆20被构造成用于从所述第二表面101b对所述主晶圆10进行减薄。

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