恭喜苏州敏芯微电子技术股份有限公司荣根兰获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请的专利MEMS麦克风及其微机电结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114079844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010847895.8，技术领域涉及：H04R19/01；该发明授权MEMS麦克风及其微机电结构是由荣根兰;孙恺;孟燕子;胡维设计研发完成，并于2020-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS麦克风及其微机电结构在说明书摘要公布了：本申请公开了一种MEMS麦克风及其微机电结构。该微机电结构包括：背板；振动膜，具有至少一个通孔，并与背板构成可变电容；至少一个连接柱，每个连接柱的一端与背板固定连接；以及至少一个可动结构，分别位于相应的通孔中以与振动膜分离，每个可动结构与相应的连接柱的另一端固定连接，其中，可动结构与通孔之间的间隙用于气体流通。该微机电结构通过在振动膜的通孔中设置与振动膜分离的可动结构，使得可动结构与通孔之间存在间隙，从而使得微机电结构的泄气量适应于不同外界声压，进而在保障MEMS麦克风性能的同时，改善了振动膜形变量大的问题。
本发明授权MEMS麦克风及其微机电结构在权利要求书中公布了：1.一种微机电结构，其特征在于，包括：背板；振动膜，具有至少一个通孔，并与所述背板构成可变电容；至少一个连接柱，每个所述连接柱的一端与所述背板固定连接；以及至少一个可动结构，分别位于相应的所述通孔中以与所述振动膜分离，每个所述可动结构与相应的所述连接柱的另一端固定连接，其中，所述可动结构与所述通孔之间的间隙用于气体流通，至少一个所述可动结包括凹槽和或泄气槽，所述凹槽与所述泄气槽贯穿所述可动结构，所述凹槽自所述可动结构的边缘向内延伸，并连通所述间隙。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州敏芯微电子技术股份有限公司，其通讯地址为：215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW09-501；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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