恭喜住友重机械工业株式会社一色雅仁获国家专利权
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龙图腾网恭喜住友重机械工业株式会社申请的专利等离子枪、成膜装置及负离子生成装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114071852B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110833909.5,技术领域涉及:H05H1/24;该发明授权等离子枪、成膜装置及负离子生成装置是由一色雅仁;前原诚设计研发完成,并于2021-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子枪、成膜装置及负离子生成装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种能够在抑制杂质附着于电极的同时使放电稳定的等离子枪、成膜装置及负离子生成装置。一实施方式所涉及的等离子枪具备阴极管80,所述阴极管80具有:外筒83,一端开放;主阴极84,设置于外筒83的内部;盖体87,安装于外筒83的一端侧,并具有小于外筒83的一端的截面大小的开口871;盖体87的材料包含与主阴极84的材料相同的材料。
本发明授权等离子枪、成膜装置及负离子生成装置在权利要求书中公布了:1.一种等离子枪,其具备阴极管,所述阴极管具有:外筒,一端开放;主阴极,设置于所述外筒的内部;及盖体,安装于所述外筒的所述一端侧,并具有小于所述外筒的所述一端的截面大小的开口,所述盖体的材料包含与所述主阴极的材料相同的材料。
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