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龙图腾网恭喜山东联盛电子设备有限公司申请的专利一种可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114171444B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111564457.1，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置是由马玉水设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置，可使硅片旋转的清洗架包括架体、驱动电机、硅片花篮；架体包括纵向设置的顶架、垂直向设置的设有内孔的连接管、纵向设置的硅片花篮架，连接管的底端设有底板；所述连接管的内孔的横截面呈长方形；硅片花篮架上纵向设有两平行的转动棍，连接管底端前侧面的左、右两端各纵向设有转动棍安装孔，两转动棍插入分别插入一转动棍安装孔内；各转动棍的连接管内孔内设有链轮，两链轮通过第二传动链条相连，第二传动链条所在平面垂直于两转动棍；硅片花篮架上安装有硅片花篮。本发明装置可以在硅片花篮内放置不同尺寸的硅片进行旋转清洗，特别适用于小批量、多种尺寸的硅片的清洗。

本发明授权一种可使硅片旋转的清洗架采用该清洗架的硅片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种可使硅片旋转的清洗架，其特征在于：包括架体、驱动电机（2）、硅片花篮（7）；架体包括纵向设置的顶架（9）、垂直向设置的设有内孔（15）的连接管（10）、纵向设置的硅片花篮架（1），连接管（10）的底端与硅片花篮架（1）的后端相连，连接管（10）的顶端与顶架（9）相连，驱动电机（2）设置在顶架（9）上连接管（10）的正上方；连接管（10）的底端设有底板（11）；所述连接管（10）的内孔（15）的横截面呈长方形；硅片花篮架（1）上纵向设有两平行的转动棍（4），连接管（10）底端前侧面的左、右两端各纵向设有转动棍安装孔，两转动棍（4）分别插入一转动棍安装孔内；各转动棍（4）的连接管（10）内孔（15）内设有链轮（12），两链轮（12）通过第二传动链条（5）相连，第二传动链条（5）所在平面垂直于两转动棍（4）；驱动电机（2）的后端设有主动轮（13）；两转动棍（4）中，其中一转动棍（4）的连接管（10）内孔（15）内设有被动轮（14）；驱动电机（2）上设有主动轮（13），主动轮（13）、被动轮（14）所在平面垂直于两转动棍（4）；主动轮（13）与从动轮通过第一传动链条（6）相连；第一传动链条（6）的下端位于连接管（10）的内孔（15）内；各转动棍（4）与连接管（10）内孔（15）之间设有第一密封套（16）；顶架（9）的连接管（10）前侧面正上方设有垂直于两转动棍（4）的隔板（17），顶架（9）上隔板（17）的后侧设有第一空腔（18），顶架（9）上隔板（17）的前侧设有第二空腔（19）；连接管（10）的顶端与所述第一空腔（18）的底面连通；隔板（17）上设有垂直于隔板（17）的电机轴安装孔，驱动电机（2）安装在第二空腔（19）；驱动电机（2）纵向设有驱动轴（20），驱动电机（2）的驱动轴（20）穿过所述电机轴安装孔，主动轮（13）安装在驱动轴（20）上且位于的第一空腔（18）内；第一传动链条（6）的上端位于第一空腔（18）内；电机轴安装孔与驱动电机（2）的驱动轴（20）之间设有第二密封套（21）；硅片花篮架（1）上安装有硅片花篮（7），硅片花篮（7）上设有若干垂直于两硅片两转动棍（4）的硅片插槽（22），当硅片花篮（7）内的硅片插槽（22）上放置有若干圆形的硅片（8）时，各硅片（8）的底端与两转动棍（4）的径向外周表面接触；连接管（10）的内孔（15）横截面的长边横向设置；各转动棍（4）的连接管（10）以外部分的径向外周表面设有橡胶套（26）。

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