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龙图腾网恭喜厦门黑元科技有限公司申请的专利一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115522182B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210275329.3，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器是由黄特伟设计研发完成，并于2022-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器，包括底座，所述底座的底部固定安装有气缸，所述底座的顶部固定安装有对称设置的两个中空滑杆，两个所述中空滑杆的顶部固定安装有同一个化学气相沉积反应箱，所述化学气相沉积反应箱的底部开设有槽孔，两个所述中空滑杆上滑动套装有同一个升降台。本发明不仅能够对不同宽度的芯片进行夹紧固定，满足了不同宽度芯片的化学气相沉积反应需求，适用范围广，同时能够在完成化学气相沉积反应后对尾气管道内壁上的凝结物进行自动刮除，无需人工后续进行清理，保证了尾气管道的使用效果，使用方便，还能够有效的避免凝结物堆积过多影响尾气管道的使用，提高了工作效率。

本发明授权一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器在权利要求书中公布了：1.一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器，包括底座1，其特征在于，所述底座1的底部固定安装有气缸2，所述底座1的顶部固定安装有对称设置的两个中空滑杆4，两个所述中空滑杆4的顶部固定安装有同一个化学气相沉积反应箱5，所述化学气相沉积反应箱5的底部开设有槽孔30，两个所述中空滑杆4上滑动套装有同一个升降台3，所述气缸2的伸缩端贯穿底座1的底部并固定连接在升降台3的底部上，所述升降台3的顶部设置有用于固定芯片的夹紧机构，所述升降台3的外侧壁上固定安装有磁块7，其一所述中空滑杆4的内部设置有与其内壁滑动连接且与磁块7磁性连接的磁性滑塞29，所述化学气相沉积反应箱5上设置有与其连通的尾气管道12，所述尾气管道12上贯穿设置有与其转动连接的转轴23，所述化学气相沉积反应箱5的外侧壁上固定安装有“L”形固定板10，所述“L”形固定板10的竖直端侧壁上设置有尾气处理箱11，所述尾气管道12远离化学气相沉积反应箱5的一端与尾气处理箱11连通，所述“L”形固定板10水平端的顶部固定安左右对称设置的两个固定板13，所述尾气管道12位于两个固定板13之间，其一所述固定板13上贯穿设置有中空辅助筒8，所述中空辅助筒8内设置有与转轴23且用于刮除尾气管道12内壁凝结物的清理机构，其一所述固定板13的外侧壁上固定安装有过渡筒14，两个所述固定板13之间设置有与过渡筒14连接的且用于将刮除下来的凝结物排出尾气管道12的过渡抽吸机构。

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