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龙图腾网恭喜长江存储科技有限责任公司申请的专利样品的表征方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114923938B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210571405.5，技术领域涉及：G01N23/20；该发明授权样品的表征方法是由张云静;石泉;刘军;李国梁;魏强民设计研发完成，并于2022-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本样品的表征方法在说明书摘要公布了：公开了一种样品的表征方法，包括：对样品进行电子能量损失谱分析，获得所述目标层的第一电子能量损失谱；根据第一电子能量损失谱的零损谱获得所述样品目标层的相对厚度；对样品进行X方向切片，获得样品的真实厚度；根据样品目标层的相对厚度和真实厚度计算平均自由程。本申请样品的表征方法，通过样品目标层的第一电子能量损失谱的零损谱以及样品的真实厚度，获得样品目标层的平均自由程，然后根据平均自由程获得样品目标层的其他表征参数。

本发明授权样品的表征方法在权利要求书中公布了：1.一种样品的表征方法，所述样品包括目标层和至少一个非目标层，所述目标层和所述非目标层的材质不同，所述样品表面为第一方向，所述样品为3DNAND大规模集成电路中的核心结构，其特征在于，所述样品的表征方法包括：经由所述样品表面对所述样品进行电子能量损失谱分析，获得所述目标层的第一电子能量损失谱和所述非目标层的第二电子能量损失谱；根据第一电子能量损失谱的零损谱获得所述样品目标层的相对厚度；据第二电子能量损失谱的零损谱获得所述样品非目标层的相对厚度；查表获取所述非目标层的平均自由程；根据所述非目标层的相对厚度和平均自由程以及所述目标层的相对厚度获得所述目标层的相对平均自由程，其中，根据所述非目标层的相对厚度和平均自由程以及所述目标层的相对厚度获得所述目标层的相对平均自由程的步骤中，所述目标层和所述非目标层的真实厚度相同的情况下，计算公式为： ， 表示目标层的平均自由程，表示非目标层的平均自由程，表示非目标层的相对厚度，表示目标层的相对厚度。

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