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龙图腾网恭喜江苏京创先进电子科技有限公司申请的专利晶圆搬运方法、机械手及划片机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115258681B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211068717.0，技术领域涉及：B65G47/91；该发明授权晶圆搬运方法、机械手及划片机是由刘炳先;于光明;吕孝袁;张天华;孙志超设计研发完成，并于2022-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆搬运方法、机械手及划片机在说明书摘要公布了：本发明揭示了晶圆搬运方法、机械手及划片机，其中晶圆搬运方法采用带防掉落机构的机械手进行晶圆的抓取，防掉落机构的托钩包括连接板、托板及导向限位板，托板的顶面水平设置且低于真空吸盘的底部，导向限位板倾斜设置在托板的顶面且导向限位板的下端到托板的前端的水平距离小于导向限位板的上端到托板的前端的水平距离；在真空吸盘吸附晶圆的边框之后或同时，使托板伸入到晶圆的边框下方，即使在晶圆从真空吸盘上掉落，也能够有效地通过一组托板将从真空吸盘上下落的晶圆托住，从而避免其掉落损坏，保证了晶圆的安全性；几个导向限位板能够对晶圆进行定位和限位以保证晶圆在机械手上的位置精度，进而保证晶圆移动到下一位置时的位置精度。

本发明授权晶圆搬运方法、机械手及划片机在权利要求书中公布了：1.晶圆搬运方法，通过搬运机器人进行晶圆的搬运，所述搬运机器人包括机械手以及驱动所述机械手平移和升降的移动机构，所述机械手包括基板，所述基板上设置有四个呈矩形分布的真空吸盘，所述基板上还设置有防掉落机构，所述防掉落机构包括一组托钩以及驱动所述托钩向被所述真空吸盘吸附的晶圆平移的托钩驱动装置，其特征在于：所述托钩包括连接板、托板及导向限位板，所述连接板连接托钩驱动装置，所述托板的顶面水平设置且低于所述真空吸盘的底部，所述导向限位板倾斜设置在所述托板的顶面且所述导向限位板的下端到所述托板的前端的水平距离小于所述导向限位板的上端到所述托板的前端的水平距离；所述基板的两端分别垂设有一横板，每个所述横板上设置有两个对称分布在基板两侧的真空吸盘，每个所述横板上还设置有两个对称分布在基板两侧的托钩，每个托钩连接一设置在所述横板上的托钩驱动装置，所述托钩驱动装置驱动所述托钩沿垂直于所述横板的方向平移；两个所述横板连接所述基板上设置的调整机构，所述调整机构驱动两个所述横板相对所述基板平移以调整两个所述横板之间的间距；所述调整机构包括主动轮、从动轮、皮带、电机及两个连接件，所述主动轮连接驱动其自转的电机，所述主动轮和从动轮的轴线与所述基板垂直，所述从动轮可自转地设置在所述基板，所述主动轮和从动轮上套装所述皮带，两个所述连接件连接在所述皮带的第一直带段和第二直带段，每个所述连接件连接一所述横板在所述真空吸盘下移与晶圆的边框接触后或所述真空吸盘将晶圆的边框吸附后，所述托钩驱动装置使一组所述托钩的托板的前端由边框的外侧移动至边框的内侧，接着所述移动机构驱动所述机械手移动。

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