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恭喜中国航发北京航空材料研究院吕晓旭获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国航发北京航空材料研究院申请的专利陶瓷纤维表面TiSiBN界面涂层的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117024159B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311021476.9,技术领域涉及:C04B35/628;该发明授权陶瓷纤维表面TiSiBN界面涂层的制备方法是由吕晓旭;孙佳佳;焦健;刘伟;李麒设计研发完成,并于2023-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

陶瓷纤维表面TiSiBN界面涂层的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种陶瓷纤维表面TiSiBN界面涂层的制备方法,包括以下步骤:将陶瓷纤维放置于马弗炉内去除上浆剂,并将去除上浆剂后的陶瓷纤维放入沉积炉内;开启真空系统对沉积炉内抽真空,同时向沉积炉内通入氩气,然后开启加热系统进行加热;待加热结束后,停止通入氩气,降低真空度;依次向沉积炉内通入H2、NH3、BCl3和TiCl4四种反应气体,然后同时向沉积炉内通入TiCl4和SiCl4两种反应气体,反应气体在陶瓷纤维表面进行化学气相沉积;待化学气相沉积结束后,依次关闭TiCl4、SiCl4、BCl3、NH3和H2的气体通道,然后向沉积炉内通入氩气至常压,关闭加热系统和真空系统,即可在陶瓷纤维表面制得TiSiBN界面涂层。本发明通过在BN中添加Ti和Si来提高界面涂层的抗氧化性和抗水氧性。

本发明授权陶瓷纤维表面TiSiBN界面涂层的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种陶瓷纤维表面TiSiBN界面涂层的制备方法,按照先后顺序包括以下步骤:步骤一:使用夹持工装将陶瓷纤维夹持住,并放置于马弗炉内去除上浆剂;步骤二:将去除上浆剂后的陶瓷纤维和夹持工装整体放入沉积炉的沉积室内,并开启真空系统检查沉积炉的密封性;步骤三:开启真空系统对沉积炉内抽真空,同时向沉积炉内通入氩气,然后开启加热系统进行加热,在整个加热过程中保持抽真空和通入氩气;步骤四:待加热结束后,停止通入氩气,降低真空度;步骤五:依次向沉积炉内通入H2、NH3、BCl3和TiCl4四种反应气体,然后同时向沉积炉内通入TiCl4和SiCl4两种反应气体,反应气体在陶瓷纤维表面进行化学气相沉积;步骤六:待化学气相沉积结束后,依次关闭TiCl4、SiCl4、BCl3、NH3和H2的气体通道,然后向沉积炉内通入氩气至沉积炉内的压力为常压,关闭加热系统和真空系统,即可在陶瓷纤维表面制得TiSiBN界面涂层;所述陶瓷纤维的类型为陶瓷纤维束丝、陶瓷纤维平纹织物、陶瓷纤维缎纹织物、陶瓷纤维2.5D织物或陶瓷纤维3D织物中的任一种;步骤一中,所述陶瓷纤维束丝、陶瓷纤维平纹织物或陶瓷纤维缎纹织物去除上浆剂的工艺为,首先将陶瓷纤维束丝、陶瓷纤维平纹织物或陶瓷纤维缎纹织物放入马弗炉内,然后以5-10℃min的升温速率升温至250-400℃、保温0.5-2h,最后随炉冷却至室温;所述陶瓷纤维2.5D织物或陶瓷纤维3D织物去除上浆剂的工艺为,首先将陶瓷纤维2.5D织物或陶瓷纤维3D织物放入马弗炉内,然后以5-10℃min的升温速率升温至300-400℃、保温3-5h,最后随炉冷却至室温;步骤三中,所述陶瓷纤维束丝、陶瓷纤维平纹织物或陶瓷纤维缎纹织物的加热工艺为,以5-10℃min的升温速率升温至500℃、保温10-30min,继续以3-5℃min的升温速率升温至900-1300℃、保温20-60min;所述陶瓷纤维2.5D织物或陶瓷纤维3D织物的加热工艺为,以5-10℃min的升温速率升温至500℃、保温30-60min,继续以3-5℃min的升温速率升温至600-800℃、保温40-100min;步骤五中,先向沉积炉内通入H2,H2流量为10-100Lmin;H2通入5-10min后,继续向沉积炉内通入NH3,NH3流量为10-100Lmin;NH3通入5-10min后,继续向沉积炉内通入BCl3,BCl3流量与NH3流量的比值为1:5-10;BCl3通入2-5min后,继续向沉积炉内通入TiCl4,TiCl4流量与NH3流量的比值为1:3-9;TiCl4通入5-10min后,继续向沉积炉内通入TiCl4和SiCl4,TiCl4流量与NH3流量的比值为1:6-12,SiCl4流量与NH3流量的比值为1:6-12,此时沉积炉内同时通入H2、NH3、BCl3、TiCl4和SiCl4五种反应气体,五种反应气体在陶瓷纤维表面进行化学气相沉积;步骤五中,所述陶瓷纤维束丝的沉积温度为900-1300℃、沉积压力为500-2000Pa、沉积时间为10-30min,所述陶瓷纤维平纹织物或陶瓷纤维缎纹织物的沉积温度为900-1300℃、沉积压力为500-2000Pa、沉积时间为30-90min,所述陶瓷纤维2.5D织物或陶瓷纤维3D织物的沉积温度为600-800℃、沉积压力为50-500Pa、沉积时间为120-600min。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国航发北京航空材料研究院,其通讯地址为:100095 北京市海淀区温泉镇环山村;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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