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龙图腾网恭喜三星电子株式会社申请的专利用于晶圆图像生成的方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110763696B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910154524.9，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权用于晶圆图像生成的方法和系统是由明图·杜塔;萨米拉·巴拉德瓦加·哈牙瓦达拉;沙闪克·什里坎特·阿加斯;拉蒂什·巴拉干加达尔;安莫·瓦尔马;申宪周设计研发完成，并于2019-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆图像生成的方法和系统在说明书摘要公布了：本文的实施例提供了用于根据CAD文件生成晶圆的管芯张量的方法和系统。需要具有晶圆的图像，其可以是完美参考图像的忠实再现。之后，可以通过将完美参考图像中的管芯与晶圆的实际图像中的管芯进行比较来将完美参考图像用于检测晶圆中的缺陷。可以根据CAD文件生成完美参考图像，CAD文件包括晶圆的电路设计。生成的晶圆的完美参考图像可以称为管芯张量。管芯张量可以包括预定义数量的切片，可以使用预定义数量的切片来改善对晶圆的管芯中的缺陷的检测。

本发明授权用于晶圆图像生成的方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种根据计算机辅助设计CAD文件生成晶圆的管芯张量的方法，所述方法包括：由分割引擎将根据所述CAD文件获得的线框图像分割成多个实体；由图像变换引擎基于光学信息来对所述多个实体中的每一个执行变换；以及由拼接引擎通过对变换后的多个实体中的每一个进行组合，生成包括预定义数量的切片在内的管芯张量，其中，所述切片包括参考图像、所述参考图像的灰度分布、所述晶圆中的管芯的位置、以及遍及所述晶圆的厚度变化，其中，所述图像变换引擎还基于工艺信息来对所述多个实体中的每个实体执行变换，所述工艺信息包括工艺事件数据、由至少一个工艺设备中的传感器收集的数据、以及至少一个工艺的元数据，所述工艺事件数据包括工艺设备内部的压力的增加或减少，由所述传感器收集的数据包括温度、压力、电流、电压和阻抗，所述元数据包括与所述工艺设备和配方有关的信息，并且其中，由时间序列编码器获得所述工艺事件数据和由所述传感器收集的数据，以对所述工艺信息执行特征提取；并且所述工艺信息基于所述元数据进行分组。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星电子株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。