恭喜深圳先进技术研究院唐永炳获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳先进技术研究院申请的专利薄膜应力测试方法及其应用的衬底获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108692843B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201710232805.2，技术领域涉及：G01L5/00；该发明授权薄膜应力测试方法及其应用的衬底是由唐永炳;石磊;蒋春磊设计研发完成，并于2017-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜应力测试方法及其应用的衬底在说明书摘要公布了：本发明实施方式公开了一种薄膜应力测试方法及其应用的衬底，属于薄膜领域的技术方案，其核心在于对衬底的测量面进行抛光处理，然后通过光杠杆法测量未镀膜前的曲率半径R'0和镀膜后的曲率半径R'，然后代入公式后，便可得出薄膜应力σ，其中，Es为所述衬底的弹性模量，Vs为所述衬底的泊松比，Hs为所述衬底的厚度，f为所述薄膜的厚度，所述R0＝‑R'0‑Hs，所述R＝‑R'‑Hs；所以此方法对薄膜的反光能力并无要求，只要对衬底的测量面进行抛光处理，便可应用光杆杠法得出薄膜应力σ，解决现有技术必须薄膜实现反光才能测量薄膜应力的问题。
本发明授权薄膜应力测试方法及其应用的衬底在权利要求书中公布了：1.一种薄膜应力测试方法，其特征在于包括以下步骤，步骤A、衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，对所述衬底的测量面进行抛光处理，在所述步骤A中，对所述衬底的测量面进行抛光处理至粗糙度小于0.04μm；步骤B、采用光杠杆法对所述衬底的测量面进行曲率半径测量，得出R'0；步骤C、在所述衬底的镀膜面镀上薄膜，然后采用光杠杆法对所述衬底的测量面进行曲率半径测量，得出R'，在所述步骤C中，先对所述衬底的测量面进行遮挡处理，然后再在所述衬底的镀膜面镀上所述薄膜；步骤D、将测得数据代入公式进行计算，以得出薄膜应力σ；其中，Es为所述衬底的弹性模量，Vs为所述衬底的泊松比，Hs为所述衬底的厚度，f为所述薄膜的厚度，所述R0＝-R'0-Hs，所述R＝-R'-Hs。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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