恭喜罗伯特·博世有限公司R·米勒获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜罗伯特·博世有限公司申请的专利用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112136038B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980033152.2，技术领域涉及：G01N27/18；该发明授权用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件是由R·米勒;T·S·弗赖设计研发完成，并于2019-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于制造至少一个用于量热探测气体的微机械的传感器的膜片装置的方法，其中：提供晶片状的衬底；将至少一个参考容积在形成至少局部覆盖参考容积的参考膜片的情况下通过表面或容积微机械工艺由前侧引入晶片状的衬底中；将至少一个与至少一个参考容积相邻的测量容积由晶片状的衬底的背侧或前侧在形成测量膜片的情况下引入衬底中；将晶片状的盖衬底施加到晶片状的衬底的前侧上。此外还公开一种膜片装置和构件。
本发明授权用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件在权利要求书中公布了：1.一种用于制造至少一个膜片装置1的方法，所述至少一个膜片装置用于微机械的传感器，所述微机械的传感器用于量热地探测气体，其中：-提供晶片状的衬底4；-将至少一个参考容积6在形成至少局部地覆盖所述参考容积6的参考膜片2的情况下通过表面微机械工艺或容积微机械工艺由前侧V引入所述晶片状的衬底4中；-将至少一个测量容积14由所述晶片状的衬底4的背侧R或前侧V在形成测量膜片10的情况下引入所述晶片状的衬底4中，所述至少一个测量容积与所述至少一个参考容积6相邻；-将晶片状的盖衬底8施加到所述晶片状的衬底4的前侧V上；-将所述至少一个测量容积14在背侧上通过在所述晶片状的衬底4的背侧R上引入的多孔的开口16气体引导地敞开，其中，所述多孔的开口16在利用PorSi的工艺控制中设立并通过沟槽工艺和或干蚀刻工艺和或湿蚀刻工艺引入至少一个测量容积14的背侧壁中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人罗伯特·博世有限公司，其通讯地址为：德国斯图加特；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号