恭喜朗姆研究公司王德琪获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于远程等离子体处理的室调节获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113594017B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110637340.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于远程等离子体处理的室调节是由王德琪;刘刚;阿南德·查德拉什卡;杨宗翰;约翰·W·格里斯沃尔德设计研发完成，并于2017-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于远程等离子体处理的室调节在说明书摘要公布了：本发明涉及用于远程等离子体处理的室调节。本文描述的方法、系统和装置涉及用于远程等离子体处理的室调节，特别地涉及远程的基于氮的等离子体处理。本公开的某些实现方式涉及用于特征填充的包括室调节的远程等离子体抑制处理。本公开的实施方式涉及在衬底诸如半导体晶片的基于氮的远程等离子体处理之前将远程等离子体处理室暴露于氟物质。晶片内均匀性和晶片间均匀性得到改善。
本发明授权用于远程等离子体处理的室调节在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理方法，其包括：在远程等离子体处理室上执行调节处理，所述调节处理包括：将含氟气体引入等离子体发生器以产生含氟调节等离子体并将所述含氟调节等离子体引入远程处理室；使所述含氟调节等离子体中的氟物质与所述远程等离子体处理室的表面反应以在所述远程等离子体处理室的所述表面形成含氟钝化层；以及将无氟含氮化合物引入所述等离子体发生器以产生无氟含氮调节等离子体并将所述无氟含氮调节等离子体引入所述远程处理室，其中在所述调节处理期间，在所述远程等离子体处理室中不存在制造衬底。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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