恭喜应用材料公司黄奕樵获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利灯头中的多分区灯控制和单独灯控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110797283B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910711874.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权灯头中的多分区灯控制和单独灯控制是由黄奕樵;埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯设计研发完成，并于2019-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本灯头中的多分区灯控制和单独灯控制在说明书摘要公布了：描述了一种用于处理半导体基板的方法和设备。公开了一种基板处理设备，包括：处理腔室；基板支撑件，所述基板支撑件设置在所述处理腔室内；多个灯，所述多个灯布置在灯头中并靠近所述基板支撑件而定位；气源，所述气源用于在跨越所述基板支撑件的侧向流动路径中提供净化气体；以及控制器，所述控制器基于所述流动路径的方向而差分地调整提供到所述多个灯中的单独灯的功率。
本发明授权灯头中的多分区灯控制和单独灯控制在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括：处理腔室；基板支撑件，所述基板支撑件设置在所述处理腔室内；多个灯，所述多个灯布置在灯头中并靠近所述基板支撑件而定位；气源，所述气源用于在跨越所述基板支撑件的侧向流动路径中提供净化气体，所述流动路径限定所述基板支撑件的前缘和后缘；以及控制器，所述控制器在基板被放置在所述基板支撑件之前基于所述流动路径的方向而差分地调整提供到所述多个灯中的单独灯的功率，使得对于所述多个灯中的在对应于所述基板支撑件的周边的外部分区的灯，位于所述基板支撑件的所述前缘处的灯或者位于所述基板支撑件的所述前缘和所述后缘处的灯被提供大于所述外部分区中的其它灯的功率，从而将所述基板支撑件的所述前缘或所述前缘和后缘加热到大于所述基板支撑件的所述周边的其它部分的温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号