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龙图腾网恭喜浙江摩克激光智能装备有限公司申请的专利一种多尺寸晶圆自动上下料装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119340255B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411888066.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种多尺寸晶圆自动上下料装置是由郑鹏程;李斌;曹宇;吴让大;潘哲豪;余建;马玉策;徐广琪设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多尺寸晶圆自动上下料装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多尺寸晶圆自动上下料装置，包括工作台，工作台上设有上下料轨道结构和安装框架，上下料轨道结构位于晶圆上料装载组件和晶圆下料装载组件之间，安装框架上安装有上下料抓手组件，上下料抓手组件将晶圆上料装载组件中装载有待加工晶圆的多尺寸晶圆装载盘抓取出，带动其沿上下料轨道结构移动至转移上料位点进行上料操作，或将转移上料位点处装载有加工好的晶圆的多尺寸晶圆装载盘抓取并移动至晶圆下料装载组件中进行下料操作，转运组件抓取多尺寸晶圆装载盘，带动多尺寸晶圆装载盘在转移上料位点和加工定位组件之间位置转移。该装置可对不同规格尺寸的晶圆自动同步进行上料、加工、下料操作，降低了设备成本，操作简单。

本发明授权一种多尺寸晶圆自动上下料装置在权利要求书中公布了：1.一种多尺寸晶圆自动上下料装置，其特征在于，包括工作台，所述工作台左右两侧分别设有内部可定位安装多个多尺寸晶圆装载盘的晶圆上料装载组件和晶圆下料装载组件，所述多尺寸晶圆装载盘可承载安装不同尺寸的晶圆；所述工作台上设有上下料轨道结构和安装框架，所述上下料轨道结构位于所述晶圆上料装载组件和所述晶圆下料装载组件之间，所述安装框架上安装有上下料抓手组件，所述上下料抓手组件将晶圆上料装载组件中装载有待加工晶圆的多尺寸晶圆装载盘抓取出，带动多尺寸晶圆装载盘沿上下料轨道结构移动至转移上料位点进行上料操作，或将转移上料位点处装载有加工好的晶圆的多尺寸晶圆装载盘抓取并移动至晶圆下料装载组件中进行下料操作；所述上下料轨道结构旁侧设有用于对多尺寸晶圆装载盘进行夹持定位的加工定位组件，所述安装框架上安装有转运组件，所述转运组件抓取多尺寸晶圆装载盘，并带动多尺寸晶圆装载盘在转移上料位点和加工定位组件之间进行位置转移；所述多尺寸晶圆装载盘包括呈圆盘状的装载盘体，所述装载盘体上表面开设有装载腔，所述装载腔包括中心限位槽和多个环状台阶限位槽，所述中心限位槽开设于所述装载盘体上表面中心位置处，并与最小尺寸的晶圆相适配进行承载限位，所述中心限位槽外侧同圆心设置有多个由内至外直径逐渐增大的环状台阶限位槽，多个所述环状台阶限位槽上端面高度从内至外逐渐增大，多个所述环状台阶限位槽分别与不同尺寸的晶圆相适配安装进行承载限位，所述装载腔内底部开设有上下贯穿的顶升槽，由所述顶升槽向上活动穿出顶升杆，所述顶升杆将晶圆从所述装载腔内向上顶起。

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