恭喜上海果纳半导体技术有限公司李闯闯获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海果纳半导体技术有限公司申请的专利检测装置及检测调节方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119354006B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411913518.4,技术领域涉及:G01B5/14;该发明授权检测装置及检测调节方法是由李闯闯;周道;张庆;叶莹设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测装置及检测调节方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种检测装置及检测调节方法,检测装置包括第一定位部件、第二定位部件、第三定位部件,第一定位部件包括第一基准杆、第二基准杆,第一基准杆上设有用以抵接OHB的第一基准面;第二基准杆沿第一方向滑动设置在第一基准杆上,其上设有用以抵接行走轨道的第二基准面。第二定位部件包括沿第一方向布设的弹性件,弹性件的两端分别连接在第一基准杆、第二基准杆上。第三定位部件包括第一连杆、第二连杆,第一连杆、第二连杆上设有活动标尺,活动标尺上设有与第一基准面、第二基准面之间的间距对应的刻度标识。本发明便于检测和调节OHB与行走轨道之间的间距,以避免因间距偏差导致的天车无法准确取放OHB上的晶圆盒。
本发明授权检测装置及检测调节方法在权利要求书中公布了:1.一种检测装置,其特征在于,包括第一定位部件,所述第一定位部件包括第一基准杆、第二基准杆,所述第一基准杆上设有能沿第一方向抵接在OHB上的第一基准面;所述第二基准杆沿第一方向滑动设置在所述第一基准杆上,其上设有用以抵接在行走轨道上的第二基准面,所述第二基准面平行于所述第一基准面;第二定位部件,所述第二定位部件包括沿第一方向布设的弹性件,所述弹性件的两端分别连接在所述第一基准杆、所述第二基准杆上;第三定位部件,所述第三定位部件包括第一连杆、第二连杆,所述第一连杆、所述第二连杆相互靠近的一端枢接固定,另一端分别枢接在所述第一基准杆、所述第二基准杆上;所述第一连杆、所述第二连杆上共同设有活动标尺,所述活动标尺上设有与所述第一基准面、所述第二基准面之间的间距对应设置的刻度标识;所述活动标尺包括第一刻度尺、第二刻度尺,所述第一刻度尺的一端固接在所述第一连杆上,另一端向所述第二连杆方向倾斜,所述第二刻度尺的一端固接在所述第二连杆上,另一端向所述第一连杆方向倾斜,且所述第一刻度尺远离所述第一连杆的一端、所述第二刻度尺远离所述第二连杆的一端在第二方向上交叠以形成所述刻度标识。
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