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龙图腾网恭喜新恒汇电子股份有限公司申请的专利一种LDI曝光补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119356043B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411930153.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种LDI曝光补偿方法是由朱军;马伟凯;任志军;黄伟;朱林;李昌文;周立强设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种LDI曝光补偿方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种LDI曝光补偿方法，属于激光直接成像技术领域。一种LDI曝光补偿方法，包括以下步骤：采集铜带的横向纹理特征、纵向纹理特征；在铜带表面划定多个校准区域；在铜带表面覆盖干膜，将校准图案曝光在校准区域的干膜上并显影，所述校准图案包括横向线、纵向线与斜向线；根据铜带横向纹理特征对横向误差值进行放大，获取横向矫正值；根据纵向纹理特征对纵向误差值进行放大，获取纵向矫正值；根据横向纹理特征、纵向纹理特征、斜向误差值计算斜向矫正值；根据横向矫正值执行曝光引擎在X向曝光位置的补偿，根据纵向矫正值执行曝光引擎在Y向曝光位置的补偿，根据斜向矫正值执行曝光引擎的光路角度的补偿。

本发明授权一种LDI曝光补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种LDI曝光补偿方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、采集铜带的横向纹理特征、纵向纹理特征；S2、在铜带表面划定多个校准区域；S3、在铜带表面覆盖干膜，将校准图案曝光在校准区域的干膜上并显影，所述校准图案包括横向线、纵向线与斜向线；S4、测量每个校准区域内横向线、纵向线、斜向线的实际宽度；S5、计算每个校准区域内各校准图案的横向线、纵向线、斜向线的设计宽度与实际宽度之间的误差；S6、分别计算多个校准区域内所有校准图案的横向线误差的均值、纵向线误差的均值、斜向线误差的均值，作为横向误差值、纵向误差值、斜向误差值；S7、根据铜带横向纹理特征对横向误差值进行放大，获取横向矫正值；根据纵向纹理特征对纵向误差值进行放大，获取纵向矫正值；根据横向纹理特征、纵向纹理特征、斜向误差值计算斜向矫正值；S8、根据横向矫正值执行曝光引擎在X向曝光位置的补偿，根据纵向矫正值执行曝光引擎在Y向曝光位置的补偿，根据斜向矫正值执行曝光引擎的光路角度的补偿；在S1中，所述横向纹理特征为铜带在横向上的粗糙度，所述纵向纹理特征为铜带在纵向上的粗糙度；在S7中，所述横向矫正值的计算公式如下： 其中，为横向矫正值，为横向修正系数，为铜带在横向上的粗糙度，为横向误差值；在S7中，所述纵向矫正值的计算公式如下： 其中，为纵向矫正值，为纵向修正系数，为铜带在纵向上的粗糙度，为纵向误差值；在S7中，所述斜向矫正值的计算公式如下： 其中，为斜向矫正值，为斜向误差值，为角度调节值，为斜向修正系数，为铜带在横向上的粗糙度，为铜带在纵向上的粗糙度。

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