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龙图腾网恭喜中国工程物理研究院激光聚变研究中心申请的专利一种光机组件面形在位检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119468978B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510066424.6，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种光机组件面形在位检测装置及方法是由刘旭;朱启华;刘勇;陈竹;姜宏振;李东;石振东;任寰;柴立群设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光机组件面形在位检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光机组件面形在位检测装置及方法，属于光学精密检测技术领域，其目的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在位监控装调过程中进行面形畸变检测的问题。装置中激光器产生的激光依次经光束隔离器、分光棱镜、准直镜A后入射至待测光机组件并产生反射，待测光机组件的反射光经准直镜A后入射至分光棱镜并产生反射，分光棱镜的反射光经由带孔光屏、准直镜B、相位板后入射至CCD相机；CCD相机与计算机系统连接，CCD相机记录的光斑图将被输入计算机系统，用于面形在位检测。该方法通过相位板对待测样品的反射光进行调制，采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现样品面形重构。其具有测量精度高、不需要参考平面、抗振能力强等优点。

本发明授权一种光机组件面形在位检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：包括激光器（101）、光束隔离器（102）、分光棱镜（103）、准直镜A（104）、待测光机组件（105）、带孔光屏（106）、准直镜B（107）、相位板（108）、CCD相机（109）、计算机系统（110）；激光器（101）产生的激光依次经光束隔离器（102）、分光棱镜（103）、准直镜A（104）后入射至待测光机组件（105）并产生反射，待测光机组件（105）的反射光经准直镜A（104）后入射至分光棱镜（103）并产生反射，分光棱镜（103）的反射光经由带孔光屏（106）、准直镜B（107）、相位板（108）后入射至CCD相机（109）；CCD相机（109）与计算机系统（110）连接，CCD相机（109）记录的光斑图将被输入计算机系统（110），用于面形在位检测；采用上述的光机组件面形在位检测装置进行检测时，具体步骤为：步骤1，激光器（101）发出激光，调整光机组件面形在位检测装置的姿态，激光依次经光束隔离器（102）、分光棱镜（103）、准直镜A（104）、待测光机组件（105）、准直镜A（104）、分光棱镜（103）、带孔光屏（106）、准直镜B（107）、相位板（108）、CCD相机（109），并在CCD相机（109）上产生衍射光斑；步骤2，采集并保存CCD相机（109）不同像面坐标所对应的衍射光斑；步骤3，利用相位板（108）的光场复振幅、衍射光斑迭代待测光机组件（105）的面形；具体迭代步骤为：步骤3-1，给待测光机组件（105）一个初始的随机猜测的光场复振幅；步骤3-2，支撑域约束S：指对待测光机组件（105）的约束，该约束用于限制待测光机组件（105）的光场复振幅分布区域大小及位置： ；步骤3-3，将限制后的随机猜测传输至相位板（108），并分别得到相位板（108）的入射光场复振幅、出射光场复振幅： ； ；步骤3-4，将相位板（108）的出射光场复振幅传输至CCD相机（109），得到CCD相机（109）的光场复振幅： ；步骤3-5，利用CCD相机（109）采集的衍射光斑对光场复振幅进行模值约束： ；步骤3-6，将约束后的光场复振幅反传输至相位板（108），得到相位板（108）的更新出射光场复振幅、更新入射光场复振幅： ； ；步骤3-7，将更新入射光场复振幅反传输至待测光机组件（105），并更新待测光机组件（105）的光场复振幅，得到待测光机组件（105）的更新光场复振幅： ； ；步骤3-8，重复步骤3-1至步骤3-7，直至循环终止条件达成，完成迭代；其中，表示CCD相机（109）中的像面坐标，表示相位板（108）、待测光机组件（105）中的像面坐标，表示支撑域，表示衍射传输运算，表示相位板（108）的光场复振幅的复共轭，表示逆衍射传输运算，表示反传输至待测光机组件（105）的光场复振幅。

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